高真空イオン化計の動作原理は、高真空条件下での気体のイオン化現象を利用するもので、イオン化室と電子コレクタで構成されています。 気体分子が電離室に入ると、加熱線や電子ビームなどによってイオン化され、正イオンと自由電子が発生し、正イオンは電界力の作用で電子コレクターに引き寄せられ、自由電子は加速されて電流が発生します。
イオンチャンバー内の電流の大きさを測定することで、ガス分子の密度と真空度を推測することができます。 一般的に、ガス分子の密度は電流と正の相関があります。 したがって、電流が増加すれば真空度が低いことを示し、逆に電流が減少すれば真空度が高いことを示します。
測定範囲
- 低電圧測定には、高電圧で大型の電離箱が使用される。
- 高電圧を測定する場合は、低電圧で小型の電離箱を使用する。
測定範囲 0.1~10^-8 Pa
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