窒化ホウ素セラミックス部品

窒化ホウ素セラミックスの材質

• 熱分解窒化ホウ素：窒化ホウ素 99.99%*
• UHB：窒化ホウ素 >99.7%
• HB：窒化ホウ素 >99%
• BC：窒化ホウ素 >97.5%
• BAN：窒化ホウ素 + 窒化アルミニウム
• BMZ：窒化ホウ素 + 酸化ジルコニウム
• BMA：窒化ホウ素 + 酸化ジルコニウム + 酸化アルミニウム
• BSC：窒化ホウ素 + 炭化ケイ素
• BMS：窒化ホウ素 + 酸化ケイ素 + 酸化アルミニウム
• BSN：窒化ホウ素 + 窒化ケイ物

窒化ホウ素セラミックスの加工

• ホットプレス焼結
• 化学蒸着法

窒化ホウ素セラミックスの用途

• 熱管理

  優れた電気絶縁性と熱伝導性により、BNは高出力電子機器のヒートシンクとして非常に有用です。その特性は、酸化ベリリウム、酸化アルミニウム、その他の電子パッケージング材料と比較して優れており、所望の形状やサイズへの加工が容易です。

• 高温環境

  BNは、温度安定性と優れた耐熱衝撃性により、プラズマアーク溶接装置、拡散源ウェーハ、半導体結晶成長装置・処理など、最も過酷な高温環境に最適な材料です。

• 溶融金属のハンドリング

  BNは無機物であり、不活性で、ハロゲン化物塩や試薬と反応せず、ほとんどの溶融金属やスラグとは濡れません。これらの特性と低熱膨張性により、様々な溶融金属プロセスで使用されるインターフェース材料として最適です。

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窒化ホウ素セラミックスの比較

特性	単位	UHB	HB	BC	BMS	BMA	BSC	BMZ	BAN	BSN
主成分	–	BN>99.7%	BN>99%	BN>97.5%	BN+SiO2	BN+Al2O3	BN+SiC	BN+ZrO2	BN+AlN	BN+Si3N4
色	–	白	白	白グラファイト	白グラファイト	グレイッシュグリーン	ホワイトグラファイト	グレイッシュグリーン	グレーブラック
密度	g/cm3	1.6	2	2.0~2.1	2.2~2.3	2.25~2.35	2.4~2.5	2.8~2.9	2.8~2.9	2.2~2.3
3点曲げ強度	MPa	18	35	35	65	65	80	90	90	/
圧縮強度	MPa	45	85	70	145	145	175	220	220	400～500
熱伝導率	W/(m·k)	35	40	32	35	35	45	30	85	20~22
熱膨張係数(20～1000℃)	10-6/K	1.5	1.8	1.6	2	2	2.8	3.5	2.8	/
最高使用温度 大気中 不活性ガス中 高真空中 (長時間)	°C	900 2100 1800	900 2100 1800	900 2100 1900	900 1750 1750	900 1750 1750	900 1800 1800	900 1800 1800	900 1750 1750	900 1750 1700
室温電気抵抗率	Ω·cm	>1014	>1014	>1013	>1013	>1013	>1012	>1012	>1013	/
主な用途	–	窒化物焼結	高温炉	高温炉	粉末冶金	粉末冶金	粉末冶金	金属鋳造	粉末冶金	金属鋳造
高温電気炉部品	–	–	√	√	√	√	√	√	√	√
金属蒸発るつぼ			√					√	√
金属またはガラスを溶解するための容器	–	√	√	√	√	√	√	√	√	√
貴金属および特殊合金の鋳造金型部品。	–	–	–	√	–	√	–	–	√	√
高温サポート部品	–	–	–	–	–	√	–	√	√	√
溶融金属のノズルと輸送管	–	–	√	√	√	√	√	√	√	√
窒化物焼結（サガーとセッタープレート）	–	√	–	–	–	–	–	–	–	–

注: この値はあくまでも参考値であり、使用条件によって多少の違いが生じます。