CVDプロセスの性質上、熱分解窒化ホウ素 (PBN)部品は通常3mm以下の肉厚が必要です。 極めて純度の高い窒化ホウ素にも適しています。99.99％が典型的なグレードです。CVDプロセスは、この熱分解窒化ホウ素にほぼ完全な層状構造を与え、その結果、熱伝導率が異方性となり、結晶成長ルツボの製造に最適な素材です。
PBNセラミックスの用途：
結晶成長 (VGF、LEC ルツボ)
分子線エピタキシー（MBE）ルツボ
MOCVDヒーター
PBN赤外線ウィンドウ
トラベリングウェーブチューブ（TWT）（PBNサポートバー）
PBNコート黒鉛
高温・真空装置用絶縁体
PBNセラミックスの特徴：
PBNは象牙色と橙褐色を呈し、無毒、無孔質で加工が容易です。
純度は99.99%までで、表面は緻密でガスバリア性に優れています。
強度は温度とともに増加し、2200℃でピークに達します。
酸、アルカリ、塩、有機試薬に耐性がある同時に、ほとんどの溶融金属や半導体材料とは反応しないです。
優れた耐熱衝撃性、優れた熱伝導性、低い熱膨張係数です。
高抵抗、高誘電率、低誘電率、低損失係数、優れたマイクロ波および赤外線能力です。
機械的・熱的・電気的に異方性があります。
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