MBEチャンバー用熱分解窒化ホウ素（PBN）るつぼ

熱分解窒化ホウ素（PBN）は、化学気相成長（CVD）プロセスを用いて六方晶窒化ホウ素（hBN）から製造される高純度材料である。この手法により窒化ホウ素結晶が基板と平行に配列され、卓越した純度（99.99%）と耐久性を実現する。PBNのCVD構造は壁厚を3mmに制限するが、高い機械的強度を提供するため、高真空環境や溶融金属用途に最適である。

その独特な熱特性、例えば異方性熱伝導率や高温耐性により、PBNは真空炉部品や結晶成長用るつぼの優先材料となっています。ガリウムヒ素（GaAs）結晶製造の標準プロセスである分子線エピタキシー（MBE）において、PBNるつぼはその優れた性能により卓越した成果を発揮します。

PBNの主な特性は以下の通りです：
– 優れた熱伝導性
– 高い絶縁抵抗
– 広範囲の温度域における卓越した絶縁耐力
– 超高純度
– 非濡れ性
– 無毒かつ化学的に不活性
– 高温および熱衝撃に対する耐性