従来の製造技術で作られる単機能デバイスとは異なり、マイクロ電気機械システム（MEMS）は、マイクロメカニカル構造、センサー、アクチュエータ、電子部品を統合した微小サイズの制御可能な電気機械デバイスシステムです。この種の製品には、小型・軽量・低コスト・低消費電力・高信頼性・量産性・容易な統合・インテリジェント実装など、数多くの利点があリます。また、封止が内部のマイクロ電子部品を外部不純物から保護するだけでなく、内部構造に安定した制御可能な物理環境を提供する必要があることを意味します。異なる種類のM…

電気信号や光信号の伝送を可能にしながら、湿気やガスの浸入を防ぐ方法、そして繊細な光電子部品を環境の影響から保護する方法。これらは、設計プロセスにおいて直面する一般的な課題です。   ここで、数十年にわたり成熟した技術として利用されてきた「ハーメチックパッケージング」が活躍します。この技術は、気密性を維持しながら信号と電力の伝送を実現します。ハーメチックパッケージングは光信号伝送にも用いられます。例えば、真空封止された光学レンズやフラットウィンドウチューブキャップは、センサー…