最先端の半導体製造装置であるイオン注入装置には、非常に高性能な材料が要求されます。

重要な部品であるセラミック継手は、イオン注入装置において重要な役割を果たしています。

A. イオン注入装置用継手およびセラミック製継手の基本的特性

イオン注入装置の付属品は、主に高純度の窒化ケイ素で作られています。炭化ケイ素（SiC）、アルミナ、アルミナ/炭化ケイ素マイクロポーラスセラミックス、窒化アルミナ（AIN）、サファイアなどのセラミック材料で作られています。
1.高硬度・高強度：セラミック製継手は高硬度・高強度であり、イオン注入工程における高負荷や摩耗に耐えることができます。

2.高い熱安定性：セラミック継手は融点が高く、高温環境でも安定した性能を維持できます。

3.良好な化学的安定性：セラミック継手は良好な化学的安定性を有し、過酷な環境下で長期間安定して動作することができます。

4.優れた電気絶縁性：セラミック部品は優れた電気絶縁性を持ち、高電圧に耐えることができ、イオン注入装置の電気部品に適しています。

B. イオン注入継手とセラミック部品の利点

1.イオン注入装置の性能向上
イオン注入装置を構成するセラミック部品の優れた性能により、過酷な環境下でもイオン注入装置を安定的に動作させ、装置の性能と信頼性を向上させます。

2.イオン注入機のコスト削減
セラミック継手は加工性能が良く、旋盤、フライス、研削などの従来の金属加工方法で加工することができます。 このため、セラミック製継手はイオン注入装置により広く使用され、イオン注入装置の製造コストを削減することができます。

3.半導体製造材料の革新を促進する
イオン注入装置部品とセラミック部品の応用の成功は、半導体製造材料の研究開発に新たなアイデアを提供し、半導体製造材料の高性能化、低コスト化の方向への発展を促進します。

C.イオン注入装置部品とセラミック部品の応用事例

1.イオン注入装置部品事例
イオン注入装置部品の応用事例には、ベアリング、真空チャック、静電チャック、ノズル、フィラメント、カソードモジュールなどのイオン注入装置の主要部品の製造が含まれます。 セラミック部品は、その高硬度、高強度、高耐熱性により、イオン注入装置の性能と信頼性を向上させることができます。

2.半導体製造装置事例
イオン注入装置部品半導体製造装置セラミック部品応用事例には、パッケージ基板、絶縁材料などの半導体製造装置主要部品の製造が含まれています。 セラミック部品は、優れた電気絶縁性と化学的安定性により、過酷な環境下で半導体製造装置の長期安定稼働を保証することができます。

詳しくはsales@innovacera.comまでお問い合わせてください。

アルミナセラミックヒーターは高効率で熱分布が均一なヒーターの一種で、金属合金は熱伝導性に優れ、高温面の温度を均一にし、機器のホットスポットとコールドスポットをなくします。 アルミナセラミックヒーターには、PTCセラミックヒーターとMCHセラミックヒーターの2種類があります。 この2つの製品に使用されている材料は全く異なりますが、完成品はセラミックに似ているため、「セラミック発熱体」と呼ばれています。

セラミック発熱体は、タングステンまたはモリブデン-マンガンペーストは、セラミック鋳造に印刷され、ホットプレスは、水素雰囲気中で1600℃、セラミックと金属が一緒に焼結し、なるように共同焼成で積み重ねました。 効果的な高温、高電力密度のストリップヒーターを形成し、設置が容易なフレキシブルな設計となっています。

電熱線は最も一般的な発熱体であり、その役割は、加熱後に電気エネルギーを熱エネルギーに変換することです。 電熱線は幅広い用途があり、一般的な電熱機器には発熱体として電熱線が使用されるため、医療、化学、電子、電化製品、冶金機械、セラミックガラス加工などの産業で電熱線が使用されています。

ヒーターを例として、市販されている最も一般的なものは、電熱線を使ったヒーターで、熱を発生させ、ファンで送風します。

主な違いは以下の通り：

1.素材の違い
セラミック加熱はPTCヒーターを使用し、電気加熱は加熱コア内の電線で発生した熱が金属管に伝導されます。

2.異なる絶縁特性
セラミックヒーターは電気を通さないので、表面は安全で非帯電、絶縁性が良いです。
電熱線の加熱は、金属が導電性であるため、漏電しやすいです。

3.異なる特性
電熱線加熱の最大の利点は、硬度がセラミック加熱コアよりも大きいということです、壊すことは容易ではありませんが、欠点は、金属製の加熱コアが高温で酸化されることであり、熱伝導効率の酸化後に酸化前よりもはるかに悪いです。

セラミック加熱コアの最大の特徴は熱伝導率が良いことで、高温でも酸化せず、どれだけ長く使用しても熱伝導効率は低下しませんが、欠点は頑丈さが金属加熱コアに比べて相対的に少し悪いことです。

下図をご覧いただければ、ご理解しやすくなると思います。

迅速かつ正確な温度制御が必要な場合は電気ヒーターを、安全性と長寿命に重点を置く場合はセラミックヒーターを使用します。

詳しくはお問い合わせください。

セラミックシーリングとは、2つ以上の材料を物理的または化学的に接合することを指します。 接合技術は、ガラスとセラミックスの製造における重要な技術の一つであり、製品の密封性、耐熱性、安定性を向上させ、製品の信頼性と耐用年数を向上させることができます。

セラミックスと金属は、機械的接続、接着剤接続、ろう付け接続、固相拡散接続、瞬時液相接続、融接、自己伝播型高温合成接続、摩擦接合、マイクロ波接続、超音波接続などによって接続されます。

接続方式によって機械シールと溶接シールに分けることができ、機械シールは主にファスナー、シールリングなどによって実現され、溶接シールは溶融接続によって実現されます。

素材の種類によって、ガラス・シーリングとセラミックから金属へのシールに分けられます。ガラス・シールは主にガラスとガラス、ガラスと金属などに使用され、セラミック・シールは主にセラミックとセラミック、セラミックと金属などに使用されています。

使用環境により、真空シール、高温シール、低温シールに分けられます。 真空シールは主に真空容器やセンサーの製造に使用され、高温シールは主に高温炉やヒーターの製造に使用され、低温シールは主に低温容器や冷凍装置の製造に使用されます。

この記事では、ろう付けプロセスに焦点を当てます。
ろう付けは、母材（ろう付けされる材料）よりも融点の低い金属を母材（ろう材またはフラックスとして知られる）の間に配置すること、母材の融点未満でろう材の融点以上の温度にアセンブリを加熱してろう材を溶融させること、母材間の空隙を溶融したろう材で濡らし、広げ、充填すること、母材が溶融したろう材を通して互いに溶解・拡散することを含めます。 冷却すると、ろう材が中間層として機能しながら、母材間に接合部が形成されます。

メリット：
(1）ろう付けプロセスは、溶接部が溶融しない、溶接部のサイズ、組織、物理的および化学的特性が安定している
2）溶接継手の気密性がよく、強度が高い
3）溶接継手が悪い場合、再溶接できる
4）一度に複数の溶接ができる

ろう付けには次のような種類もあります。
メタライズ・セラミック

セラミック表面はまず金属化され、次に従来のろう材がろう付けされるため、2段階ろう付けとも呼ばれます。 セラミック表面とメタライゼーションの目的は、フィラーメタルのセラミック表面への濡れ性が悪いという問題を解決することです。 電子産業では、セラミック表面の予備メタライゼーションにMo-Mn法が一般的に用いられています。 適切な量のMnがMo粉末に添加され、セラミックへの金属コーティングの結合を改善します。 さらに、物理・化学蒸着法、溶射法、金属粉末焼結法、超音波法、化学蒸着法、プラズマ溶射法、真空蒸着法などの一連の金属化法が開発されています。

反応性金属ろう付け
セラミックス表面に反応性金属膜を形成することにより、活性元素をろう材に添加し、化学反応によりセラミックス表面に反応性層を形成し、セラミックス表面へのろう材の濡れ性を向上させます。 このような活性元素としては、通常、Ti、Zr、Hf、V、Ta、Nb、Cr等が挙げられます。

当社は研究開発、生産、販売を一体化した専門企業であり、各種セラミック部品、セラミックから金属製品までを提供しています。 現在、真空装置、フォトリソグラフィー、真空コーティングマシン、分光計、質量分析計、イオン源、粒子加速器、電子機器、計測器、航空宇宙、新エネルギー自動車、インテリジェントロボット、エネルギー貯蔵システム、化学真空などの応用分野に携わっています。

何か問題がございましたら、いつでも連絡してしてください。

この記事では、異なる材料で作られたるつぼの利点と用途に焦点を当てます。

1.タングステンボート：
-高温耐性：タングステンボートは、優れた高温耐性を持っており、高温での真空蒸着プロセスに耐えることができます。

-熱伝導性：タングステンは、均一な加熱を提供し、均一な成膜を得るために助けることができる良好な熱伝導率を持っています。

-安定性：タングステンは、高温条件下での蒸発に適した、酸化することは容易ではない、高温でより安定しています。

2.窒化ホウ素るつぼ：
-付着防止：窒化ホウ素るつぼは付着防止に優れており、材料の残留物や汚染を減らすことができます。

-電気伝導性：窒化ホウ素 (BN) ：るつぼは一般的に電気伝導性が低く、制御された電子伝導を必要とする特定のプロセスに役立ちます。

-化学的に不活性：窒化ホウ素るつぼは、多くの化学環境において比較的不活性であり、腐食の影響を受けにくいです。

3.アルミナるつぼ：
-高温／耐食／高強度：製鋼用スライディングスパウト、高純度金属製錬用または単結晶育成用ルツボ、各種高温キルン（炉室、炉筒）、理化学容器、航空宇宙用スパークプラグ、耐熱耐酸化コーティング、ガラス延伸用ルツボなどの構造部品として使用します。

4.石英るつぼ
石英るつぼは1700度以下で燃焼させることができるが、燃焼温度が1100度を超えると石英は不透明になるので、溶解温度は800度を超えてはならないです。

-HFと接触できず、高温では苛性アルカリおよびアルカリ金属炭酸塩と相互作用しやすいです。
石英るつぼは、K2S2O7、KHSO4を融剤とし、Na2S207（212度で一次乾燥）を融剤とする試料の融解に適しています。

-石英はもろく割れやすいので、使用する時ご注意ください。

-HF以外の無機酸を洗浄液として使用してください。

5.コランダムるつぼ
-コランダムるつぼは、多孔質のコランダムでできており、強度が高く、溶けにくいです。

-コランダムるつぼは、溶融試料として無水Na2C03のような弱アルカリ性物質に適しており、Na202やNaOH（K2S207など）のような強アルカリ性物質や酸性物質には適していないです。

ダイナミックな銅線産業の世界では、効率と品質が時代の先端を行くための重要な要素です。 当社は、お客様の産業用ケーブル伸線機に最高の部品を装備することの重要性を理解しています。そのため、ジルコニア・セラミックス製の革新的な引出しリング・シリーズをご紹介し、ケーブル引出し工程の性能向上を目指しています。

糸引きリングとは？なぜ欠かせないのでしょうか？

糸引きリングは工業ケーブルの糸引き技術における重要な部品です。糸引きリングガイドケーブルは機械を通して張力を加え、徐々に直径を小さくします。これにより、より薄くて頑丈なケーブルを生産することができ、さまざまな産業や電気用途に最適です。そのため、選択された糸引きリングは最終製品の品質とプロセス効率に影響を与えることができます。

ジルコニア延伸リングの先進的な点：

1.ケーブル摩耗の減少：ジルコニアの平滑性と制御可能な硬度は延伸過程におけるケーブル摩耗を最大限に減少させ、それによって最終製品の品質を高め、延伸機の寿命を延長することができます。

2.耐久性の強化：ジルコニアは極めて耐摩耗性が高く、高張力と持続摩擦の下でもその形状と性能を維持できるようにします。

3.化学的適合性：ジルコニアは腐食や化学薬品に対して高い耐性を持つため、過酷な環境下でも引張リングの構造的完全性と性能を維持することができます。

4.生産停止時間の減少：ジルコニアは耐久性と弾力性があるため、SteelCeramの糸引きリングは頻繁に交換する必要がなく、効率を高め、生産ラインの停止時間を減らすのに役立ちます。

5.製品品質の向上：当社はジルコニア糸引きリングの均一性と精度は一致かつ高品質の糸引きを確保でき、それによってより良いケーブルと最適な電気性能を生成します。

ジルコン糸引きリングに関する詳細情報や操作にメリットがある方法については、お問い合わせください。当社は、産業用ケーブル延伸業界での成功を推進することに力を入れています。

精密ミリングと研磨が必要な業界では、ジルコニウムビーズと研磨タンクは耐久性、効率、一貫した性能で評価されています。これらのジルコニア（ZrO 2）から作られた部品は材料加工において極めて重要な役割を果たしており、特にセラミックス、化学工学などの業界では重要です。

ジルコニアビーズと粉砕ジャーとは何ですか？
ジルコニアビーズは、粉砕や研削作業に一般的に使用される球状の研削メディアです。 緻密な構造と高い耐摩耗性により、硬い材料を微粉末に粉砕するのに適しています。 通常、ジルコニアで作られる粉砕ジャーは、粉砕される材料を保持する容器であり、効率的で汚染のない処理を保証する耐久性と不活性環境を提供します。

ジルコニアビーズと粉砕ジャーの主な特徴
高密度：ジルコニアビーズは、他のタイプの粉砕媒体と比べて高密度です。 このため、粉砕工程での高速粉砕、高効率化、粒子径の縮小が可能になります。

耐摩耗性: ジルコニアビーズも粉砕ジャーも、優れた耐摩耗性で知られています。 この特性は、高摩擦環境での連続使用においても、より長い耐用年数を保証します。

化学安定性：ジルコニア (ZrO2) は化学的に不活性であるため、粉砕される材料と反応することはありません。 この特性は、医薬品やファインケミカルなど、純度が重要な産業で特に重要です。

滑らかな表面：ジルコニウムビーズの滑らかな表面は、摩耗を最小限に抑え、研磨剤の汚染を低減し、高品質の結果を保証します。

高強度と靭性：ジルコニアビーズと研磨タンクは極端な機械応力に耐えられ、それを高強度研磨応用の理想的な選択にすることができます。

ジルコニアビーズと粉砕ジャーの用途
ジルコニアビーズと粉砕ジャーは、様々な産業で様々な用途に使用されています：

セラミック産業：これらの工具は、セラミック産業において、原材料を微粉末に粉砕し、より強度と耐久性の高いセラミック製品を製造するために不可欠です。

塗料とコーティング: 高品質の塗料とコーティングの製造において、ジルコニウム・ビーズは顔料を均一に粉砕し、均一な色と一貫性をもたらします。

ナノ材料：ナノテクノロジーに携わる研究者にとって、ジルコニウムビーズは、先端材料の開発に不可欠な超微粒子サイズを実現するために極めて重要です。

ジルコニウムビーズと研削ジャーは、精密研削、耐久性、化学的安定性が重要な産業で不可欠です。 その酸化ジルコニウム（ZrO2）組成は、高密度、耐摩耗性、化学的不活性を提供し、様々な研削用途に理想的です。 ジルコニウムビーズと粉砕ジャーを粉砕プロセスに組み込むことで、効率的で高品質な結果を保証し、汚染を最小限に抑えることができます。 これらのツールは、信頼性が高く効率的な研削ソリューションをお探しの業界に最適です。

新エネルギー自動車の急速な発展に伴い、その主要部品のひとつであるバッテリーは、熱管理における重要性を増しています。 高温または低温環境におけるバッテリーの温度制御は、バッテリーの性能と安全性を確保するための重要な要素です。

1.電池の熱管理におけるセラミック材料のメリット

セラミック材料には、電池の熱管理における優れた利点があり、それは主に以下の点に反映されています。 第一に、セラミック材料は熱伝導性に優れています。 電池は作動中に大量の熱を発生するため、セラミック材料の高い熱伝導率は、熱を素早く外部環境に伝え、電池の温度を効果的に下げることができます。 これにより、バッテリーの作業効率と寿命を向上させ、過熱による安全上の危険を減らすことができます。 第二に、セラミック材料は優れた高温耐性を示します。 高温環境において、セラミック材料は高い熱的・化学的安定性を維持することができ、構造的損傷や性能劣化を起こしにくい。 このため、セラミック材料は電池の熱管理にとって信頼できる選択肢となり、過酷な使用条件下でも材料の完全性と性能の安定性を維持することができます。 さらに、セラミック材料は優れた耐食性を示します。 電池システムは湿度や腐食性ガスなどの過酷な環境にさらされることが多いため、セラミック材料はこのような条件下でも長期間安定して動作し、電池システムのメンテナンスコストとエネルギー消費を削減することができます。また、耐食性により電池部品を保護し、システム全体の耐用年数を延ばすことができます。

2.電池の熱管理におけるセラミック材料の応用場面

電池の熱管理におけるセラミック材料には多くの応用場面があり、その優れた熱伝導性と高い耐熱性は、効率的な熱管理を達成することができます。

2.1 電池ケースの断熱材

新エネルギー車のバッテリーシステムにおいて、バッテリーシェル材料の選択は温度制御のために極めて重要です。
セラミック材料は熱伝導率が低く、金属材料に比べて熱伝導を効果的に止めることができます。 電池外殻にセラミック材料を使用すると、外部温度による電池内部への熱影響を低減することができます。 これにより、電池内部温度の安定性を維持し、外部温度の変化による電池性能の変動を避けることができます。
また、セラミック材料は絶縁性に優れ、熱や電流の伝導を防ぎます。 この絶縁性により、外部温度の変化による電池内部の熱拡散や液漏れなどの問題を防ぐことができます。 セラミック材料を電池ケース材料として使用することで、電池の内部温度を安定させることができ、電池システムの安全性と信頼性を守ることができます。

2.2 電池内部の熱伝導材料

電池モジュール内部にセラミック材料を配置することで、電池内部で発生した熱を効果的に伝導し、速やかに放熱システムに伝達することができ、効率的な熱管理を実現します。
セラミック材料の高い熱伝導性により、電池の温度上昇率を大幅に抑えることができ、過熱による性能低下や安全上のリスクを回避することができます。
この応用方式は、新エネルギー自動車の電池システムの効率と安定性の向上に役立ちます。

2.3 電池放熱パッケージ

放熱パッケージの材料としてセラミック材料を採用することで、熱伝導率を最適化することができます。 セラミック材料は熱伝導率が高く、熱を素早く伝導し、熱抵抗を効果的に低減することができます。熱伝導率を最適化することで、電池部品の放熱システムの効率を向上させ、電池システム全体の動作温度を下げることができます。 さらに、熱伝導経路も最適化することができ、合理的な熱伝導経路を設計することで、熱伝導効率を最大化し、熱損失を低減することができます。 セラミック材料は変形安定性と機械的強度に優れ、熱伝導経路の安定性と信頼性を維持し、熱を放熱システムに効果的に伝導させることができます。

2.4 バッテリーヒートシンク設計

バッテリー部品間の温度差を調整する重要な部品として、バッテリーヒートシンクはバッテリーの熱管理において重要な役割を果たしています。 セラミック材料を適用することで、バッテリーヒートシンクの性能と効果を効果的に向上させることができます。 セラミック材料は熱伝導率が高く、耐熱性が高いため、熱を迅速かつ均一に伝導し、バッテリー部品間の温度バランスをとることができます。 熱伝導率が高いため、高温領域から低温領域へ素早く熱を移動させることができ、温度勾配を小さくして局所的な温度が高すぎたり低すぎたりするのを防ぐことができます。

優れた熱伝導性、耐高温性、耐食性を持つセラミック材料は、バッテリーケースの絶縁、熱伝導材料、熱パッケージング、バッテリーヒートシンクの設計において重要な役割を果たしています。
ご不明な点がございましたら、お気軽にお問い合わせください。

先端エレクトロニクスにおいて、信頼性の高い高性能コネクタの必要性はかつてないほど高まっています。 数ある選択肢の中でも、マルチコネクター はその汎用性と堅牢性で際立っています。 これらのコネクターは、さまざまなハイテク産業、特にセラミックと金属の一体化が強く求められる用途において、安定した効率的な接続を確保する上で重要な役割を果たしています。
 

マルチプルコネクターについて
マルチプルコネクターは、1つのハウジング内に複数の電気的接続を収容するように設計されており、スペースと信頼性が最優先される複雑なシステムに最適です。これらのコネクターは、高温や腐食性雰囲気などの過酷な条件下で使用されることがよくあります。過酷な条件下でも安定した電気的接続を維持できるため、航空宇宙、防衛、医療機器などの産業で不可欠です。

セラミック対金属シールの役割
マルチプルコネクターの主な特徴は、 セラミック対金属シールの組み込みです。これらのシールは密閉バリアを提供し、コネクタが湿気、ほこり、温度変動などの環境要因の影響を受けないことを保証します。一般的にアルミナセラミック（Al₂O₃）から作られるセラミック部品は、優れた電気絶縁特性と高い熱安定性で知られています。そのため、電気絶縁性と機械的強度の両方が要求される環境での使用に理想的な材料です。

アルミナセラミックス（Al 2 O 3）：コネクタ性能の向上
アルミナセラミックス（Al 2 O 3）は、マルチコネクタの性能において重要な役割を果たしています。その高い誘電強度と低い誘電損失は、卓越した電気絶縁を必要とする用途に最適な選択肢となります。また、アルミナの耐摩耗性と耐食性は、コネクタが過酷な環境の過酷な試練に耐え、寿命を延ばすことができることを確保しています。セラミックから金属シールへのアルミナの使用もコネクタの機械的強度を高め、機械的応力と振動により抵抗できるようにしました。

マルチプルコネクターの用途
堅牢な設計と信頼性の高い性能により、マルチプルコネクターは幅広い用途で採用されています。航空宇宙産業では、航空電子工学システム、衛星通信、および信頼性が譲れないその他の重要なシステムでよく使用されています。医療分野では、小型で高い信頼性が不可欠な診断機器や埋め込み型機器に使用されています。さらに、防衛産業では、安全な通信システム、レーダー装置、その他のミッションクリティカルなアプリケーションにマルチプルコネクターが使用されています。

マルチコネクターは、現代の電子システムに不可欠なコンポーネントであり、さまざまな厳しい環境において信頼性の高い効率的な接続を提供します。セラミック対金属シーリングとアルミナセラミック（Al₂O₃）の利点を活用することで、これらのコネクターは卓越した性能と耐久性を提供します。技術が進歩し続ける中、マルチプルコネクターのような高品質コネクターの重要性は増すばかりであり、エレクトロニクスの未来に不可欠な要素となっています。