プラズマチャンバー窒化ホウ素（BN）セラミック部品

窒化ホウ素はグラファイトに似た層状構造を持つため、しばしば「白色グラファイト」と呼ばれています。 高い絶縁耐力、熱伝導性、優れた化学的不活性などの優れた高温耐性は、最も要求の厳しい用途の課題に対応しています。

窒化ホウ素（BN）セラミックス(BN）は、プラズマ環境下でのスパッタリングに対する独自の耐性を持ち、強い電磁場の存在下でも二次イオンの発生が少ないです。 耐スパッタ性は部品寿命の延長に役立ち、二次イオン発生が少ないことはプラズマ環境の完全性の維持に役立ちます。 その結果、窒化ホウ素セラミック（BN）は、スパッタチャンバー内のプラズマアークをターゲット材料に閉じ込め、プロセスチャンバー内の一体型部品の腐食を防ぐために広く使用されています。

窒化ホウ素（BN）のプラズマ用途の主な製品には、アークシールドやガイド、ターゲットフレーム、シールド、PVDプラズマチャンバーの製造に使用されるガスケットなどがあります。そして、 窒化ホウ素（BN） セラミックスは、軌道衛星や深宇宙探査機の推進手段としてプラズマを使用するホール効果スラスターにも使用されています。

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