関連製品
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工程需求
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エンジニアリング精密位置決め
半導体装置、光学システム、自動化ステージ、検査機器向けの低変形・高剛性・耐摩耗・寸法安定性に優れた精密セラミック位置決め部品。
位置決め誤差要因
熱変形、摩耗、振動、パーティクル、組み立て誤差
熱変形、摩耗、振動、パーティクル、組み立て誤差
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コア材料
Al₂O₃、ZrO₂、Si₃N₄、サファイア
Al₂O₃、ZrO₂、Si₃N₄、サファイア
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部品形態
シャフト、ピン、ガイド、サポート、位置決め部品、絶縁位置決め具
シャフト、ピン、ガイド、サポート、位置決め部品、絶縁位置決め具
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アプリケーション先
半導体、光学、オートメーション、検査機器
半導体、光学、オートメーション、検査機器
精度目標
位置決め精度、繰り返し精度、平面度、同軸度、表面仕上げの要件を定義。
荷重・運動評価
荷重、速度、摩擦モード、振動、取り付け制約を評価。
材料・仕上げ
剛性、靭性、低摩耗性、機械加工性のバランスを取る。
製品・アプリケーションギャラリー
材料選定ガイド
| 材料 | 使用理由 |
|---|---|
| アルミナ | 高剛性と安定した絶縁性を備え、サポート、位置決め、絶縁構造に適する。 |
| ジルコニア | 高靭性と優れた表面仕上げを備え、シャフト、ピン、精密運動部品に適する。 |
| 窒化ケイ素 | 高強度・軽量・耐摩耗性を備え、高速・高信頼性運動に適する。 |
| サファイア | 硬質かつ光学的に透明で、特殊検査や光学位置決め部品に適する。 |
コンポーネントソリューション
セラミック位置決めピンおよびガイドピン
セラミックシャフトおよびスリーブ
精密セラミックサポートブロック
光学位置合わせ用セラミック部品
半導体装置位置決め部品
絶縁位置決め構造
課題とセラミックソリューションの選定
動作条件、信頼性目標、アプリケーション要件に基づいてセラミック材料と部品構造を選択するための問題指向型ガイド。
| 顧客の課題 | 推奨セラミックソリューション |
|---|---|
| 位置決めドリフト | 低変形・高剛性セラミック構造を最適化された取り付け方法で使用。 |
| 摩耗によるガイド誤差 | 精密ジルコニアまたは窒化ケイ素製ガイド部品を使用。 |
| クリーン環境でのパーティクルリスク | 低摩耗・高研磨セラミック接触面を使用。 |
| 絶縁位置決めが必要 | アルミナ、AlN、その他の絶縁セラミック構造を選択。 |
よくある質問
なぜセラミックが精密位置決めに使用されるのですか？
セラミックは剛性、耐摩耗性、寸法安定性、絶縁性、低汚染性を備えています。
ミクロンレベルの精度は達成可能ですか？
材料、サイズ、形状に応じて、研削、研磨、精密加工により厳しい公差を達成できます。
ジルコニアと窒化ケイ素の選択基準は？
ジルコニアは靭性に優れ、窒化ケイ素は軽量・高速・高強度用途に適しています。
図面に必要な情報は？
寸法、公差、表面仕上げ、組み立て方法、荷重、運動、環境。
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