イオン源は、真空チャンバー内で原子イオンや分子イオンを発生させる装置です。
窒化ルミ (AIN)/窒化ホウ素 (BN)複合材料は、電気絶縁性、熱伝導性、真空シール性に優れ、ガスをあまり放出しないです。 そのため、イオン源のヒートシンクおよび伝熱板として機能します。
素材特徴:
- 高機械的強度。
- 高熱伝導率。
- 低熱膨張係数。
- 低誘電損失。
- 優れた電気絶縁性。
- 高い耐食性 – 溶融金属が浸入しない。
- 優れた機械加工性 – BN-AlNは高精度で複雑な形状に機械加工できる。
- ガスを多く放出することなく、真空に対する優れた密閉性。
- 可視赤外線を通しやすい高周波特性。
素材特性:
特性 | 単位 | BAN |
主要成分 | / | BN+ALN |
色 | / | 灰緑色 |
密度 | g/cm3 | 2.8~2.9 |
3点曲げ強度 | MPa | 90 |
圧縮強度 | MPa | 220 |
熱伝導率 | W/m·k | 85 |
熱膨張係数(20-1000℃) | 10-6/K | 2.8 |
最高使用温度 | 大气 ℃ | 900 |
ガス ℃ | 1750 | |
真空 ℃ | 1750 |
用途
- 自動車用ラジエーター
- 真空エレメント
- 低誘電率と誘電正接を必要とする部品
- 低熱膨張係数を必要とする部品および構成部品
- 電気絶縁と放熱を必要とする電子部品
- 電気ホール効果スラスター用推進放電路