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製品情報

導電性窒化ホウ素ルツボ

INNOVACERA の導電性窒化ホウ素ルツボは、エッチャントおよび薄膜蒸着材料として半導体製造に革命をもたらします。
電子ビーム蒸着コーティング用に設計されたこの高純度ルツボは、装置を損傷や汚染から保護すると同時に、さまざまな薄膜材料の精密な製造を容易にします。
そのユニークな導電性と滑らかな表面は、最適な蒸発速度と膜質を保証し、先端半導体製造のための最初の選択肢となっています。

Conductive boron nitride crucibles

導電性窒化ホウ素ルツボは、高温および熱サイクルに対する優れた耐性を持ち、各種金属およびセラミック希土類と反応しません。

ルツボは、急速な加熱および冷却条件下でも無傷のままです。

合金溶解、レアアースおよびセラミック焼結、電子ビーム蒸着コーティングに使用できます。

高周波誘導加熱、コーティング、電子ビーム蒸発コーティング、アルミニウムおよびシリコンのメッキなどの熱蒸発プロセスで一般的に使用されます。

導電性窒化ホウ素ルツボは、電子ビーム蒸着コーティングに高純度、高仕上がり、優れた性能を提供します。

蒸発速度の向上、材料転換の促進、熱安定性の改善、必要電力の削減を実現し、最終的には生産性と費用対効果を高めます。

特徴:
フィルム層は仕上がりが良く、純度が高く、汚染が少なく、耐用年数が長いです。

1.高温および熱サイクルに対する優れた耐性。

熱膨張率が低く、ほとんどの溶融金属に濡れにくい。

2.2000℃までの高温耐性。窒化ホウ素はアルミニウムと反応せず、揮発しない。

3.蒸発速度の向上:蒸発速度の向上により、サイクル時間を短縮し、総生産量を増加させることができる。

4.迅速な材料交換:導電性窒化ホウ素るつぼは、迅速な材料交換を実現し、炉室のダウンタイムを最小限に抑え、プロセス効率を向上させる。

主要成分:BN+TiB2
密度 3.0g/cm3
バインダーの構成部品:B2O3
色:灰色
室温抵抗率:300-2000 Ω·cm
動作温度:1800℃以下
熱伝導率:> 40W/mk
熱膨張係数:(4-6)x10-6K
曲げ強度:> 130Mpa
蒸発率:0.35-0.5g/min·cm2

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