En la fabricación de obleas, el TTV, la curvatura y la deformación son parámetros esenciales que determinan la planitud y la uniformidad del espesor de la oblea, lo que influye significativamente en los procesos críticos de fabricación de chips.
A. Definiciones y métodos de medición del TTV, la curvatura y la deformación
1. TTV (Variación Total del Espesor)
Definición:
El TTV se refiere a la diferencia entre el espesor máximo y mínimo a lo largo del diámetro de una oblea, evaluando la uniformidad del espesor.
Medición:
Medida sin sujeción, calcula la desviación entre las distancias mínima y máxima desde la superficie central de la oblea hasta un plano de referencia, incluyendo variaciones cóncavas y convexas.
Importancia:
El TTV garantiza una distribución uniforme del espesor durante el procesamiento, lo que evita efectos adversos en los pasos posteriores y el rendimiento del producto final.
2. Arqueamiento
Definición:
El arqueamiento indica la curvatura de una oblea y representa la variación de la distancia vertical entre el centro y los bordes.
Medición:
En estado independiente, la parte posterior de la oblea sirve como plano de referencia, y se mide la desviación entre los puntos más altos y más bajos de la superficie de la oblea con respecto a este plano.
Importancia:
El arqueamiento es un parámetro clave para evaluar la calidad y la fiabilidad de la oblea. Valores más bajos de arqueamiento suelen indicar superficies más limpias y planas, con menos defectos durante el procesamiento.
3. Deformación
Definición:
La deformación se refiere a la distorsión general o deformación irregular de la superficie de la oblea, sin limitarse a la curvatura localizada.
Medición:
Utilizando como plano de referencia la superficie con la menor suma de intersecciones de todos los puntos dentro del área de calidad calificada de la superficie de la oblea, se mide la desviación entre las distancias máxima y mínima de la superficie con respecto al plano de referencia.
Importancia:
La deformación es una métrica clave para medir la planitud general de las obleas y es crucial para procesos como la litografía y el grabado.
B. Diferencias entre TTV, curvatura y deformación
1. TTV: Se centra en la variación del espesor, independientemente de la curvatura o la distorsión.
2. Curvatura: Se centra en la curvatura general, considerando principalmente la flexión entre el centro y los bordes.
3. Deformación: Abarca tanto la curvatura global como la distorsión en la superficie de la oblea.
Si bien estos parámetros están relacionados con las propiedades geométricas de la oblea, miden y describen diferentes aspectos, cada uno con un impacto único en los procesos de semiconductores y su manipulación.
C. Impacto de la TTV, la curvatura y la deformación en los procesos de semiconductores
Impacto en la litografía
Problemas de profundidad de foco (DOF): La TTV, la curvatura y la deformación pueden causar variaciones en la profundidad de foco durante la litografía, lo que afecta la claridad del patrón.
Problemas de alineación: Estos parámetros pueden causar desalineación de las obleas, lo que afecta la precisión de la cobertura entre capas.
Efecto en el pulido químico-mecánico
Pulido desigual: Durante el CMP, la TTV, la curvatura y la deformación pueden causar un pulido desigual, lo que resulta en rugosidad superficial y tensión residual.
Impacto en la Deposición de Películas Delgadas
Deposición No Uniforme: Las superficies irregulares de las obleas pueden causar una deposición desigual de películas delgadas.
Impacto en la Manipulación de las Obleas
Problemas de Manipulación: Las obleas deformadas pueden sufrir daños durante los procesos de manipulación automatizados.
Obleas de Nitruro de Aluminio
Las obleas de AlN son sustratos cerámicos diseñados para sistemas electrónicos y optoelectrónicos de vanguardia. En los procesos de semiconductores, las obleas de nitruro de aluminio, como sustrato de soporte para la deposición de películas delgadas (como MOCVD), favorecen el crecimiento epitaxial de alta calidad de semiconductores compuestos como GaN y AlGaN. Innovacera suministra obleas de nitruro de aluminio estándar de 6″ y 8″. Si las necesita, contáctenos en sales@innovacera.com.
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