En el proceso de fabricación de semiconductores, la placa de cubierta de obleas de cerámica de nitruro de aluminio es un componente clave para el soporte de las obleas, y su rendimiento afecta directamente la calidad y la eficiencia de procesamiento de las mismas.
La cerámica de nitruro de aluminio (cerámica de nitruro de aluminio) es un nuevo tipo de material cerámico con excelente conductividad térmica, aislamiento eléctrico y propiedades mecánicas. Su conductividad térmica puede alcanzar los 320 W/m·K, más de 10 veces la de la cerámica de alúmina; su aislamiento eléctrico puede superar los 10^13 Ω·cm; y su resistencia a la flexión puede superar los 350 MPa. Estas excelentes propiedades hacen que la cerámica de nitruro de aluminio tenga una amplia gama de aplicaciones en el campo de la fabricación de semiconductores.
Ventajas de la cerámica de nitruro de aluminio en aplicaciones de placas de cubierta de obleas
Alta conductividad térmica En el proceso de fabricación de semiconductores, las obleas deben procesarse en entornos de alta temperatura, como la fotolitografía, el grabado, la implantación de iones, etc. La alta conductividad térmica de la cerámica de nitruro de aluminio garantiza que la oblea alcance la temperatura requerida por el proceso en poco tiempo, mejorando así la eficiencia de la producción. Al mismo tiempo, esta alta conductividad térmica también contribuye a uniformizar la temperatura de la oblea, reducir la tensión térmica y mejorar su calidad.
- Excelente disipación de calor
Durante el procesamiento de obleas, algunos procesos generan mucho calor, como el grabado láser, el grabado por plasma, etc. La excelente disipación de calor de la cerámica de nitruro de aluminio permite transferir rápidamente el calor al entorno, evitar que la temperatura de la oblea sea demasiado alta, reducir el riesgo de daños térmicos y mejorar la calidad del procesamiento.
- Alto aislamiento eléctrico
Durante el proceso de fabricación de semiconductores, la superficie de la oblea se recubre con materiales conductores como fotorresistencia y una capa antirreflectante. El alto aislamiento eléctrico de la cerámica de nitruro de aluminio previene eficazmente la acumulación de carga entre la superficie de la oblea y la bandeja, evita descargas y mejora la calidad del procesamiento de la oblea.
- Buenas propiedades mecánicas
La cerámica de nitruro de aluminio posee una alta resistencia a la flexión y dureza, lo que garantiza que la placa de oblea no se desgaste ni agriete fácilmente durante el transporte y la carga, y aumenta su vida útil. Además, el coeficiente de expansión lineal de la cerámica de nitruro de aluminio es similar al de las obleas de silicio, lo que contribuye a reducir la tensión térmica y el riesgo de deformación de la oblea.
- Resistencia a la corrosión
Durante el proceso de fabricación de semiconductores, la placa de cubierta de la oblea se expone a diversos reactivos químicos, como fotorresistencia, solución de grabado, etc. La cerámica de nitruro de aluminio presenta una buena resistencia a la corrosión y puede resistir la erosión de estos reactivos químicos, lo que garantiza la estabilidad y la vida útil de la placa de la oblea.
- Sin contaminación
La cerámica de nitruro de aluminio presenta una buena estabilidad química y no reacciona con los materiales de la superficie de la oblea, lo que evita la generación de impurezas y garantiza la calidad del procesamiento de la oblea. Al mismo tiempo, el proceso de producción de la cerámica de nitruro de aluminio es más respetuoso con el medio ambiente, lo que contribuye a la reducción de las emisiones totales de carbono de la industria de fabricación de semiconductores.
Como material para placas de cubierta de obleas, la cerámica de nitruro de aluminio ofrece las ventajas de una alta conductividad térmica, excelente disipación del calor, alto aislamiento eléctrico, buenas propiedades mecánicas, resistencia a la corrosión y ausencia de contaminación. En el campo de la fabricación de semiconductores, la aplicación de placas de cubierta de obleas de cerámica de nitruro de aluminio puede mejorar la eficiencia de la producción, reducir los costos y mejorar la calidad del agua, lo cual tiene una importante importancia práctica. Innovacera podría ofrecer dos tipos de cerámica de nitruro de aluminio, uno es nitruro de aluminio y otro es aluminio prensado en caliente.La principal diferencia con el nitruro de aluminio es su pureza. El ALN prensado en caliente es más puro que el ALN, y su conductividad térmica también es diferente.
Si tiene alguna pregunta sobre la cerámica de nitruro de aluminio, contáctenos en sales@innovacera.com.
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