Las cerámicas de nitruro de aluminio (AlN) prensadas en caliente se utilizan como placas calefactoras de obleas y mandriles electrostáticos de sujeción de obleas en equipos de fabricación de semiconductores.
Ventajas de la cerámica de nitruro de aluminio ALN prensada en caliente:
– Alta pureza
– Aislante eléctrico
– Alta conductividad térmica
– Material crítico para la gestión térmica
– Menor generación de partículas
– Resistencia a la corrosión/erosión
– Propiedades eléctricas controladas
Propiedades:
| Propiedad | Unidades | Valor |
| Resistencia a la flexión, MOR (20 °C) | MPa | 300-460 |
| Tenacidad a la fractura | MPa m½ | 2,75-6,0 |
| Conductividad térmica (20 °C) | W/m²·K | 100-170 |
| Coeficiente de expansión térmica | 1 x 10-6/°C | 3,3-5,5 |
| Temperatura máxima de uso | °C | 800 |
| Rigidez dieléctrica (6,35 mm) | CA-kV/mm | 16,0-19,7 |
| Pérdida dieléctrica | 1 MHz, 25 °C | 1 x 10-4 a 5 x 10-4 /td> |
| Resistividad volumétrica (25 °C) | Ω-cm | 1013 a 1014 |
Aplicación típica:
– Placas de cubierta y equipos de resonancia magnética (IRM)
– Detectores de alta potencia, generadores de plasma, radios militares
– Mandriles electrostáticos y placas calefactoras para semiconductores y circuitos integrados
– Material para ventanas infrarrojas y de microondas
Caliente Prensado de oblea de nitruro de aluminio
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