高性能真空アプリケーション向け真空電力フィードスルー

真空環境において、安全なエネルギー伝送を実現する極めて重要な導管です。

真空電力フィードスルーは、真空システム向けに特別に設計された重要な貫通部品です。その主な機能は、キャビティの真空密閉性を完全に維持しながら、大気環境から真空内部へ電気エネルギーを安全かつ確実に伝送することです。外部電源とキャビティ内部の負荷を接続する、不可欠な「エネルギーリンク」です。

このコンポーネントは、高真空条件下での安定した電力供給という根本的な問題を解決し、さまざまな加熱、高電圧、粒子ビームプロセスの信頼性の高い動作の基盤となります。

設計の核心：密閉性、絶縁性、電流容量

真空電力フィードスルーの設計は、シーリング、絶縁、電流容量という 3 つの主要な側面を中心に行われます。

（1）成熟したセラミック-金属ろう付け技術に基づき、原子レベルの気密接合を実現し、高真空および超高真空用途の要件を満たします。また、高温ベーキングや過酷な動作条件下でも長期安定性を示します。

(2) 堅牢な機械的・電気的構造：CF、KF、ISO規格インターフェースに対応した304/316Lステンレス鋼製フランジ。導体は無酸素銅、銅ニッケル合金、またはコバール合金製で、接触抵抗を低減するために金メッキまたはニッケルメッキも選択可能。高純度アルミナセラミックは、信頼性の高い絶縁性と熱安定性を提供します。

（3）柔軟な電気性能構成：単導体、二導体、多導体アレイまで、幅広い構成に対応し、単チャネルまたは多チャネルの独立電力伝送の要件を満たします。用途に応じて、高電流型、高電圧型、複合電力型に分類できます。数百アンペアの大電流を伝送できるだけでなく、数万ボルトの高電圧にも耐えることができ、複雑な真空プロセスに信頼性の高い電力サポートを提供します。

コア製品の利点:

–絶対的に信頼できる気密保証: 永久的な金属化シーリングにより、空気漏れのリスクが効果的に排除され、真空システムの寿命とプロセスの純度が保証されます。

–広範なパラメータ範囲: 電圧、電流、導体の数、フランジの種類、設置寸法はすべて、顧客のシステム設計図に正確に一致するように高度にカスタマイズできます。

–極限環境への耐性: 動作温度範囲が広く、粒子照射に耐性があり、プラズマや腐食性雰囲気にも適応できます。

–標準化された便利な統合: 国際真空フランジ規格に準拠しているため、到着後すぐに設置でき、機器の設計と設置サイクルが大幅に短縮されます。

–耐久性と安定した性能: 完全に無機材料で構成されているため、老化現象がなく、ガス放出率が非常に低いため、機器はライフサイクル全体にわたってメンテナンスなしで稼働できます。

一般的なアプリケーションシナリオ:

真空蒸着コーティング（PVD/CVD）装置： 加熱電源または陽極陰極電源の安全接続。

真空炉および熱処理システム: キャビティ内の加熱要素または制御モジュールに電力を供給します。

電子ビームおよびイオンビーム装置: 粒子加速または堆積プロセスのために、チャンバー内部に高電圧電力が供給されます。

真空試験・分析装置: 多チャンネルの電気接続を実現する SEM (走査型電子顕微鏡) や質量分析計など。

真空電力フィードスルーは、超高真空技術、材料科学、精密ろう付け技術、高電圧絶縁設計を統合した総合的な製品です。その性能は、真空装置の処理能力、信頼性、安全性を直接左右します。信頼性の高いフィードスルーは、真空システムの安定した「エネルギーコア」です。

弊社は、標準的なフィードスルー製品から完全にカスタマイズされたソリューションまで、包括的なサポートを提供し、革新的な研究開発と大規模生産を保護することに尽力しています。