在真空环境中，它是安全能量传输的关键通道。
真空电源馈通装置是专为真空系统设计的关键过通元件。其核心功能是在绝对保持腔体真空密封的前提下，安全可靠地将电能从大气环境传输到真空内部。它是连接外部电源和腔体内部负载不可或缺的“能量链路”。
该元件解决了高真空条件下稳定供电的核心问题，是各种加热、高压和粒子束工艺可靠运行的基础。
设计核心：密封性、绝缘性和载流能力
真空电源馈通的设计围绕三个核心方面展开：密封性、绝缘性和载流能力。
(1) 基于成熟的陶瓷-金属钎焊技术，实现了原子级气密连接，满足高真空和超高真空应用的要求。它还展现出在高温烘烤和严苛工作条件下的长期稳定性。
(2) 坚固的机械和电气结构：304/316L不锈钢法兰，兼容CF、KF和ISO标准接口；导体采用无氧铜、铜镍合金或科瓦合金，可选镀金或镀镍以降低接触电阻。高纯度氧化铝陶瓷提供可靠的绝缘和热稳定性。
(3) 灵活的电气性能配置：支持从单导体、双导体到多导体阵列的各种配置，满足单通道或多通道独立供电的需求。根据应用的不同，可分为大电流型、高压型或复合功率型。它不仅可以传输数百安培的大电流，还能承受数万伏的高压，为复杂的真空工艺提供可靠的电源支持。
核心产品优势：
–绝对可靠的气密性保证： 永久性金属化密封有效消除漏气风险，确保真空系统的使用寿命和工艺纯度。
–广泛的参数覆盖： 电压、电流、导体数量、法兰类型和安装尺寸均可高度定制，以精确匹配客户的系统设计。
– 耐受极端环境：工作温度范围宽广，耐粒子辐照，并可适应等离子体和腐蚀性环境。
– 标准化且便捷的集成：符合国际真空法兰标准，到货即可安装，显著缩短设备设计和安装周期。
– 持久稳定的性能：完全由无机材料制成，无老化现象，气体排放率极低，确保设备在其整个生命周期内无需维护即可运行。
– 典型应用场景：
– 真空蒸发镀膜（PVD/CVD）设备：加热电源或阳极-阴极电源的安全连接。
真空炉和热处理系统： 为腔体内的加热元件或控制模块供电。
电子束和离子束设备： 为腔体内的粒子加速或沉积过程提供高压电源。
真空测试和分析设备： 例如扫描电子显微镜 (SEM) 和质谱仪，可实现多通道电气连接。
真空电源馈通装置是一款集超高真空技术、材料科学、精密钎焊技术和高压绝缘设计于一体的综合性产品。其性能直接决定了真空设备的加工能力、可靠性和安全性。可靠的馈通装置是真空系统稳定的“能量核心”。
Innovacera 致力于提供全面的支持，从标准馈通装置开始。从粗加工产品到完全定制的解决方案，保障您的创新研发和大规模生产。
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