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真空チャック

  • イオン注入装置にセラミックを使用する利点 Company

    最先端の半導体製造装置であるイオン注入装置には、非常に高性能な材料が要求されます。 重要な部品であるセラミック継手は、イオン注入装置において重要な役割を果たしています。   A. イオン注入装置用継手およびセラミック製継手の基本的特性     イオン注入装置の付属品は、主に高純度の窒化ケイ素で作られています。炭化ケイ素(SiC)、アルミナ、アルミナ/炭化ケイ素マイクロポーラスセラミックス、窒化アルミナ(AIN)、サファイア…

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