Innovacera的陶瓷Z轴采用长空心结构，配备方形、矩形或圆形孔径以适配设备设计。其精密加工的外表面可与预加载气浮轴承、探头安装座、线性标尺、驱动机构及气动配重系统集成。
导轨表面与气浮轴承之间的薄气膜实现非接触、低摩擦运动，降低磨损的同时提升高速下的平滑性和重复性。
产品特性：
- 微米级几何精度
- 专为气浮导轨系统设计
- 高刚性空心结构
- 出色的尺寸稳定性
- 可选多种空心截面
- 定制安装孔与接口
规格参数
| 型号 | 尺寸（宽×高×长） | 平面度 | 平行度 | 垂直度 |
|---|---|---|---|---|
| INV0646490-S | 64 × 64 × 900 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm |
| INV0686899-S | 68 × 68 × 999 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm |
| INV0707010-S | 70 × 70 × 1000 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm |
| INV0707012-S | 70 × 70 × 1200 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm |
| INV0707014-S | 70 × 70 × 1400 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm |
| INV0808010-S | 80 × 80 × 1000 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm |
| INV0808012-S | 80 × 80 × 1200 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm |
| INV0808014-S | 80 × 80 × 1400 mm | 3 μm | 3 μm | 2 μm |
应用领域：
三坐标测量仪
适用于桥式、龙门式及高精度扫描三坐标测量仪，用作陶瓷Z轴探针杆或精密气浮导轨。
精密气浮运动平台
适用于需要低摩擦、高定位重复性及稳定直线运动的气浮平台。
半导体检测设备
适用于晶圆检测、封装检测、精密校准及高精度视觉测量平台中的运动结构组件。技术陶瓷的尺寸稳定性、机械精度和低热膨胀特性使其特别适合高精度半导体设备。
光学与激光测量设备
适用于光学测量平台、激光干涉仪、轮廓测量仪器、圆度测量仪及精密扫描设备。
超精密机床
适用于超精密加工设备、精密定位平台及非接触运动系统中的陶瓷导轨组件。
精密加工与质量控制
制造长空心陶瓷Z轴组件需控制材料特性、烧结变形、多表面协同加工及长距离微米级检测。
针对您的三坐标测量仪或气浮平台的定制陶瓷Z轴解决方案
提供产品图纸、运动行程、气浮结构及几何精度要求。Innovacera工程团队将协助评估材料、空心结构、加工基准及检测方案。
声明：此篇为INNOVACERA®原创文章，转载请标明出处链接：https://www.innovacera.com/zh-hans/product/alumina-ceramic-z-axis-guide
常见问题
为什么使用氧化铝陶瓷作为三坐标测量仪的Z轴探针杆？它如何提高测量精度？
相比金属和花岗岩，氧化铝陶瓷具有优异的尺寸稳定性、高刚度重量比及低热膨胀率。作为轻量化空心探针杆设计，在高速扫描中可减小惯性和弯曲变形。与气浮轴承配合使用时，其精密研磨表面可实现微米级几何精度（平面度/平行度 ≤ 3 μm，垂直度 ≤ 2 μm），为三坐标测量仪和激光计量系统提供无摩擦、高重复性的运动。
能否购买用于气浮平台的定制陶瓷Z轴导轨？制造商需要哪些参数？
是的，作为超精密陶瓷制造商，INNOVACERA可提供定制设计的氧化铝陶瓷Z轴探针杆，长度可达1400毫米，配备方形、矩形或圆形空心孔。我们可定制安装孔模式、配重接口及线性标尺基准。为获取报价和技术评估，请提供2D/3D CAD图纸、运动行程、负载要求及几何公差目标。
