Características
- Alta conductividad térmica
- Coeficiente de expansión térmica cercano al disco de silicio
- Alta resistencia y tenacidad
Aplicaciones
- Módulo de potencia IGBT de alta potencia
- Disipador de calor de alta potencia
- Módulo inalámbrico
Tabla de Propiedades del Material
| Proyecto | Condiciones de prueba | Unidad | Si₃N₄ | |
| SN-90 | ||||
| Material | – | – | Si₃N₄ | |
| Apariencia | – | – | gris | |
| Rugosidad superficial | Ra | μm | 0.2~0.75 | |
| Densidad | – | g/cm3 | ≥3.2 | |
| Propiedades físicas | Fuerza de flexión | Resistencia de flexión en tres puntos | MPa | ≥750 |
| Dureza Vickers | Carga 4,9 | GPa | ≥14 | |
| Absorción de agua | – | % | 0 | |
| Rendimiento térmico | Conductividad térmica | 25°C | W/(m·k) | ≥85 |
| Coeficiente de expansión térmica lineal | 25-500°C | x10-6 mm/°C | 2~4 | |
| Resistencia al choque térmico | 800°C | Tiempo | ≥10 | |
| Calor específico | – | J/(kg·K) | 680 | |
| Propiedades eléctricas | Constante dieléctrica | 1MHz/25°C | – | 7~8 |
| Pérdida dieléctrica | 1MHz/25°C | x10-4 | ≤4 | |
| Resistividad volumétrica | 25°C | Ω·cm | > 1014 | |
| Tensión de ruptura | – | kV/mm | > 15 | |
| Rendimiento luminoso | Reflejividad | Medidor de reflejividad | – | – |
| Blancura | Medidor de blancura | – | – | |
Especificaciones y Dimensiones
| Material | Unidad | Al₂O₃ | ZTA | AlN | Si₃N₄ |
| Dimensiones efectivas (A, B) | mm | 50.8-190 | 50.8-190 | 50.8-190 | 138*190 |
| Espesor (T) | mm | 0.25-1.5 | 0.25-1.5 | 0.25-1.0 | 0.25, 0.32 |
| Tolerancia al espesor | mm | ±5% (Mín ±0.03 mm) | ±5% (Mín ±0.03 mm) | ±5% (Mín ±0.03 mm) | ±5% (Mín ±0.03 mm) |
| Curvatura (C) | mm | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.3% |
| Rugosidad superficial | μm | 0.2-0.6 | 0.2-0.5 | 0.2-0.75 | 0.2-0.75 |
| Tamaño, espesor y rugosidad superficial pueden personalizarse | |||||
Procesamiento
• Procesamiento láser
• Tabla de rugosidad de hojas de esmerilado y pulido
| Proyecto | Cumplido | Clase especial | ||
| Tolerancia dimensional interna | ±0.05 mm | ±0.03 mm | ||
| Tolerancia dimensional externa | ±0.15 mm | ±0.1 mm | ||
| Tolerancia de agujero (φ0.07-0.15 mm) | ±0.05 mm | ±0.02 mm | ||
| Tolerancia de agujero (φ > 0.15 mm) | ±0.1 mm | ±0.02 mm | ||
| Proyecto | Rugosidad superficial (μm) | |||
| Cumplido | Clase especial | |||
| Esmerilado | 0.3-0.6 | 0.3-0.5 | ||
| Esmerilado fino | 0.1-0.4 | 0.1-0.3 | ||
| Pulido | ≤0.1 | ≤0.05 | ||
Declaración: Este es un artículo original de INNOVACERA®. Por favor, indique el enlace de origen al reimprimir: https://www.innovacera.com/es/product/silicon-nitride-substrates.
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