窒化ケイ素 (Si₃N₄) 基板

特長

• 高い熱伝導率
• シリコンウェーハに近い熱膨張係数
• 高い強度と靭性

 

用途

• 高出力IGBTパワーモジュール
• 高出力ヒートシンク
• ワイヤレスモジュール

 

材料特性表

プロジェクト		試験条件	単位	Si₃N₄
				SN-90
材質		–	–	Si₃N₄
外観		–	–	グレー
表面粗さ		Ra	μm	0.2～0.75
密度		–	g/cm 3	≥3.2
物理的特性	曲げ強度	3点曲げ強度	MPa	≥750
	ビッカース硬度	荷重 4.9	GPa	≥14
	吸水率	–	%	0
熱性能	熱伝導率	25℃	W/(m·k)	≥85
	線​​膨張係数	25～500℃	x10 -6 mm/℃	2～4
	耐熱衝撃性	800℃	時間	≥10
	比熱	–	J/(kg·K)	680
電気特性	誘電率	1MHz/25℃	–	7～8
	誘電損失	1MHz/25℃	x10 -4	≤4
	体積抵抗率	25℃	Ω·cm	> 10 14
	破壊電圧	–	kV/mm	> 15
光性能	反射率	反射率計	–	–
	白色度	白色度計	–	–

仕様と寸法

材質	単位	Al₂O₃	ZTA	AlN	Si₃N₄
有効寸法 ( A , B )	mm	50.8-190	50.8-190	138×190
厚さ ( T )	mm	0.25-1.5	0.25-1.5	0.25-1.0	0.25 , 0.32
厚さ公差	mm	±5% (最小±0.03mm )	±5% ( 最小±0.03mm )	±5% ( 最小±0.03mm )	±5% ( 最小±0.03mm )
反り (℃ )	mm	≤0.3%	≤0.3%	≤0.3%
表面粗さ	μm	0.2-0.6	0.2-0.5	0.2-0.75	0.2-0.75
サイズ、厚さ、表面粗さはカスタマイズ可能です

加工

• レーザー加工

• 研削・研磨シート粗さ表

Project		合格品		特級品
内径公差		±0.05mm		±0.03mm
外径公差		±0.15mm		±0.1mm
穴公差 (φ0.07-0.15mm)		±0.05mm		±0.02mm
穴公差（φ ＞ 0.15mm）		±0.1mm		±0.02mm
Project	表面粗さ(μm )
	合格品		特級品
研削	0.3～0.6		0.3～0.5
微研削	0.1～0.4		0.1～0.3
研磨	≤0.1		≤0.05