窒化アルミナ（AlN）基板

特長

• 高い熱伝導率
• シリコンウェーハに近い熱膨張係数
• 高い破壊電圧

用途

• 高出力IGBTパワーモジュール
• 高出力LED
• 高出力ヒートシンク

材料特性表

プロジェクト		試験条件	単位	AlN
				AN-170	AN-200	AN-230
材質		–	–	AlN	AlN
外観		–	–	ライトブルー	ベージュ	ベージュ
表面粗さ		Ra	μm	0.2~0.75	0.2~0.75	0.2~0.75
密度		–	g/cm 3	≥3.3
物理的特性	曲げ強度	3点曲げ抵抗	MPa	≥400	≥350	≥300
	ビッカース硬度	荷重 4.9	GPa	≥10
	吸水率	–	%	–
熱性能	熱伝導率	25℃	W/(m·k)	≥170	≥200	≥230
	線​​膨張係数	25～500℃	x10 -6 mm/℃	4～6
	耐熱衝撃性	800℃	時間	≥10
	比熱熱	–	J/(kg·K)	720
電気特性	誘電率	1MHz/25℃	–	8～9
	誘電損失	1MHz/25℃	x10 -4	≤3
	体積抵抗率	25℃	Ω·cm	> 10 14
	破壊電圧	–	kV/mm	> 17
光性能	反射率	反射率計	–	–
	白色度	白色度計	–	–

仕様と寸法

サイズ(mm) 厚さ(mm)	0.25	0.38	0.5	0.635	0.76	1.0	1.2	1.5	2.0
101.6*101.6	√	√	√	√	√	√	√	√	√
114.3*114.3	√	√	√	√	√	√	√	√	√
120*120	√	√	√	√	√	√	√	√	√
138*190			√	√	√	√	√	√	√

 

加工

• レーザー加工

• 研削・研磨シート粗さ表

Pプロジェクト		認定済み		特別グレード
内寸公差		±0.05mm		±0.03mm
外形寸法公差		±0.15mm		±0.1mm
穴公差 (φ0.07～0.15mm)		±0.05mm		±0.02mm
穴公差 (φ ＞ 0.15mm)		±0.1mm		±0.02mm
Pプロジェクト	表面粗さ (μm )
	認定済み		特級
研削	0.3～0.6		0.3～0.5
微研削	0.1～0.4		0.1～0.3
研磨	≤0.1		≤0.05