氮化铝（AlN）基板

特性

• 高导热性

• 热膨胀系数接近硅片

• 高击穿电压

应用

• 高功率IGBT功率模块

• 高功率LED

• 高功率散热器

材料特性表

Project		测试条件	单元	AlN
				AN-170	AN-200	AN-230
材料		–	–	AlN	AlN	AlN
外貌		–	–	浅蓝色	浅褐色的	浅褐色的
表面粗糙度		Ra	μm	0.2~0.75	0.2~0.75	0.2~0.75
密度		–	g/cm 3	≥3.3
物理性质	弯曲强度	三点弯曲阻力	MPa	≥400	≥350	≥300
	维氏硬度	负荷 4.9	GPa	≥10
	吸水率	–	%	–
热性能	热导率	25℃	W/(m·k)	≥170	≥200	≥230
	线膨胀系数	25-500℃	x10 -6 mm/℃	4~6
	抗热冲击性	800℃	Time	≥10
	比热容	–	J/(kg·K)	720
电气特性	介电常数	1MHz/25℃	–	8~9
	介电损耗	1MHz/25℃	x10 -4	≤3
	体积电阻率	25℃	Ω·cm	> 10 14
	击穿电压	–	kV/mm	> 17
轻型性能	反射率	反射率计	–	–
	白	白度计	–	–

规格和尺寸

尺寸(mm) 厚度 ( mm )	0.25	0.38	0.5	0.635	0.76	1.0	1.2	1.5	2.0
101.6*101.6	√	√	√	√	√	√	√	√	√
114.3*114.3	√	√	√	√	√	√	√	√	√
120*120	√	√	√	√	√	√	√	√	√
138*190			√	√	√	√	√	√	√

加工

• 激光加工

• 磨削抛光板材粗糙度表

Project		Qualified		特级
内部尺寸公差		±0.05mm		±0.03mm
外部尺寸公差		±0.15mm		±0.1mm
孔径公差 (φ0.07-0.15mm)		±0.05mm		±0.02mm
孔径公差 (φ ＞ 0.15mm)		±0.1mm		±0.02mm
Project	表面粗糙度 (μm )
	合格的		特级
Grinding	0.3-0.6		0.3-0.5
精磨	0.1-0.4		0.1-0.3
抛光	≤0.1		≤0.05