ジルコニア（ZTA）基板

特長

• 高強度
• 高反射率
• 高い耐熱衝撃性
• 優れた加工性能

用途

• 中出力電源モジュール
• 中出力LED
• 計測機器

材料特性表

プロジェクト		試験条件	単位	Al 2 O 3 /ZrO 2
				ZTA
材料		–	–	Al 2 O 3 /ZrO 2
外観		–	–	白色緻密質
表面粗さ		Ra	μm	0.2～0.5
密度		–	g/cm 3	≥3.85
物理的性質	曲げ強度	3点曲げ耐性	MPa	≥550
	ビッカース硬度	荷重 4.9	GPa	≥14
	吸水率	–	%	0
熱性能	熱伝導率	25℃	W/(m·k)	≥23
	線​​膨張係数	25～500℃	1×10 -6 mm/℃	6.6～7.5
	耐熱衝撃性	800℃	時間	≥10
	比熱	–	J/(kg·K)	720
電気特性	誘電率	1MHz/25℃	–	10~11
	誘電損失	1MHz/25℃	x10 -4	≤3
	体積抵抗率	25℃	Ω·cm	> 10 14
	破壊電圧	–	KV/mm	> 15
光性能	反射率	反射率計	–	≥95%
	白色度	白色度メートル	–	–

仕様と寸法

材質	単位	Al 2 O 3	ZTA	AlN	Si 3 N 4
有効寸法 ( A 、 B )	mm	50.8-190	50.8-190	138×190
厚さ ( T )	mm	0.25-1.5	0.25-1.5	0.25-1.0	0.25 , 0.32
厚さ公差	mm	±5% ( 最小±0.03mm )	±5% ( 最小±0.03mm )	±5% ( 最小±0.03mm )
反り ( C ) )	mm	≤0.3%	≤0.3%	≤0.3%	≤0.3%
表面粗さ	μm	0.2-0.6	0.2-0.5	0.2-0.75	0.2-0.75
サイズ、厚さ、表面粗さはカスタマイズ可能です

加工

• レーザー加工

• 研削・研磨シート粗さ表

Pプロジェクト		認定済み		特級
内寸公差		±0.05mm		±0.03mm
外形寸法公差		±0.15mm		±0.1mm
穴公差 (φ0.07-0.15mm)		±0.05mm		±0.02mm
穴公差 (φ ＞ 0.15mm)		±0.1mm		±0.02mm
Pプロジェクト	表面粗さ (μm )
	資格取得済み		特級
研削	0.3～0.6		0.3～0.5
微研削	0.1～0.4		0.1～0.3
研磨	≤0.1		≤0.05