Zirkonia (ZTA) Substrate

Eigenschaften

• Hohe Festigkeit
• Hohe Reflektivität
• Hohe Beständigkeit gegen thermischen Schock
• Hervorragende Verarbeitungseigenschaften

Anwendung

• Mittel-Leistungs-Stromversorgungs-Module
• Mittel-Leistungs-LED
• Instrumente

Materialeigenschaften-Tabelle

Projekt		Prüfbedingungen	Einheit	Al 2 O 3 /ZrO 2
				ZTA
Material		–	–	Al 2 O 3 /ZrO 2
Aussehen		–	–	Weiß, dicht
Oberflächenrauheit		Ra	μm	0,2~0,5
Dichte		–	g/cm 3	≥3,85
Physikalische Eigenschaften	Biegewiderstand	3-Punkt-Biegebelastung	MPa	≥550
	Vickers-Härte	Last 4,9	GPa	≥14
	Wasseraufnahme	–	%	0
Thermische Eigenschaften	Wärmeleitfähigkeit	25°C	W/(m·k)	≥23
	Lineare Ausdehnungskoeffizient	25-500°C	1×10 -6 mm/°C	6,6~7,5
	Beständigkeit gegen thermischen Schock	800°C	Zeit	≥10
	Wärmekapazität	–	J/(kg·K)	720
Elektrische Eigenschaften	Dielektrische Konstante	1 MHz/25°C	–	10~11
	Dielektrischer Verlust	1 MHz/25°C	x10 -4	≤3
	Volumenwiderstand	25°C	Ω·cm	> 10 14
	Durchbruchspannung	–	kV/mm	> 15
Optische Eigenschaften	Reflektivität	Reflektionsmesser	–	≥95%
	Weißgrad	Weißheitsmesser	–	–

Spezifikationen und Abmessungen

Material	Einheit	Al 2 O 3	ZTA	AlN	Si 3 N 4
Effektive Abmessungen ( A , B )	mm	50,8-190	50,8-190	50,8-190	138*190
Dicke ( T )	mm	0,25-1,5	0,25-1,5	0,25-1,0	0,25 , 0,32
Dickentoleranz	mm	±5% ( Min ±0,03mm )	±5% ( Min ±0,03mm )	±5% ( Min ±0,03mm )	±5% ( Min ±0,03mm )
Verzug ( C )	mm	≤0,3%	≤0,3%	≤0,3%	≤0,3%
Oberflächenrauheit	μm	0,2-0,6	0,2-0,5	0,2-0,75	0,2-0,75
Abmessungen, Dicke und Oberflächenrauheit können maßgeschneidert werden

 

Verarbeitung

• Laserbearbeitung

• Schleifen- und Polieren-Tabelle für Oberflächenrauheit

Projekt		Qualifiziert		Spezialgrad
Innere Maßtoleranz		±0,05 mm		±0,03 mm
Äußere Maßtoleranz		±0,15 mm		±0,1 mm
Lochtoleranz (φ0,07-0,15 mm)		±0,05 mm		±0,02 mm
Lochtoleranz (φ ＞ 0,15 mm)		±0,1 mm		±0,02 mm
Projekt	Oberflächenrauheit (μm )
	Qualifiziert		Spezialgrad
Schleifen	0,3-0,6		0,3-0,5
Feinschleifen	0,1-0,4		0,1-0,3
Polieren	≤0,1		≤0,05