氧化锆（ZTA）基板

特性

• 高强度

• 高反射率

• 高耐热冲击性

• 优异的加工性能

应用

• 中功率电源模块

• 中功率 LED

• 仪器仪表

材料属性表

项目		测试条件	单位	Al₂O₃/ZrO₂
				ZTA
材料		–	–	Al₂O₃/ZrO₂
外观		–	–	白色致密
表面粗糙度		Ra	μm	0.2~0.5
密度		–	g/cm³	≥3.85
物理性能	抗弯强度	三点抗弯	MPa	≥550
	维氏硬度	载荷 4.9	GPa	≥14
	吸水率	–	%	0
热性能	导热系数	25℃	W/(m·k)	≥23
	线膨胀系数	25-500℃	1×10⁻⁶ mm/℃	6.6~7.5
	耐热震性	800℃	次数	≥10
	比热容	–	J/(kg·K)	720
电性能	介电常数	1MHz/25℃	–	10~11
	介电损耗	1MHz/25℃	×10⁻⁴	≤3
	体积电阻率	25℃	Ω·cm	>10¹⁴
	击穿电压	–	kV/mm	>15
光学性能	反射率	反射率仪	–	≥95%
	白度	白度计	–	–

规格和尺寸

材料	单位	Al₂O₃	ZTA	AlN	Si₃N₄
有效尺寸（A , B）	mm	50.8-190	50.8-190	50.8-190	138*190
厚度（T）	mm	0.25-1.5	0.25-1.5	0.25-1.0	0.25 , 0.32
厚度公差	mm	±5% (最小 ±0.03mm)	±5% (最小 ±0.03mm)	±5% (最小 ±0.03mm)	±5% (最小 ±0.03mm)
翘曲度（C）	mm	≤0.3%	≤0.3%	≤0.3%	≤0.3%
表面粗糙度	μm	0.2-0.6	0.2-0.5	0.2-0.75	0.2-0.75
尺寸、厚度及表面粗糙度可定制

加工

• 激光加工

• 研磨与抛光片粗糙度表

项目		合格级		特级
内尺寸公差		±0.05mm		±0.03mm
外尺寸公差		±0.15mm		±0.1mm
孔位公差（φ0.07–0.15mm）		±0.05mm		±0.02mm
孔位公差（φ＞0.15mm）		±0.1mm		±0.02mm
项目	表面粗糙度（μm）
	合格级		特级
研磨	0.3-0.6		0.3-0.5
精磨	0.1-0.4		0.1-0.3
抛光	≤0.1		≤0.05