Los componentes cerámicos de alta precisión mejoran la gestión del rendimiento en el procesamiento de obleas semiconductoras. Los componentes cerámicos de Innovacera proporcionan una estabilidad dimensional precisa, una planitud y suavidad excepcionales, y sujeción al vacío de las obleas durante la inspección y el procesamiento. Las configuraciones de bajo contacto superficial minimizan el riesgo de que las partículas de la parte posterior afecten negativamente la geometría de la oblea en aplicaciones de precisión.
Características principales de las piezas cerámicas de alta precisión:
1. Resistencia al desgaste y a la abrasión: La alúmina es una cerámica técnica resistente con una excelente resistencia al desgaste.
2. Dimensiones de alta precisión con tolerancias de ajuste reducido, lo que facilita un encaje perfecto.
3. Inercia química: resistente a la mayoría de los ácidos y álcalis fuertes.
4. Resistencia a altas temperaturas: soporta hasta 1600 °C en atmósferas oxidantes y reductoras.
5. Excelentes propiedades mecánicas: dureza, resistencia a la compresión y a la flexión muy superiores a las del acero inoxidable.
6. Aislamiento eléctrico: la tensión de ruptura es de al menos 20 kV.
7. Se requiere atmósfera protectora o alto vacío a altas temperaturas para eliminar la contaminación o impurezas.
8. Resistencia a la corrosión química a altas temperaturas, incluso con ácidos o álcalis fuertes.
9. Menor costo de material en aplicaciones de alta gama en comparación con otras cerámicas técnicas.
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