El óxido de alúmina es uno de los materiales de sustrato más rentables y ampliamente utilizados en aplicaciones microelectrónicas. Si bien muchos clientes estarán satisfechos con una superficie recién horneada para sus aplicaciones, el pulido de sustratos cerámicos ofrece cuatro ventajas principales:
- Patrones de líneas más finos
Tras el proceso de rectificado y pulido fino, el sustrato cerámico puede obtener líneas de patrón más finas, lo que favorece el diseño de circuitos más densos y favorece circuitos de interconexión de paso fino y alta densidad.
Un acabado superficial recién horneado suele ser adecuado para líneas de hasta 1 milésima de pulgada de grosor en aplicaciones de película delgada y 5 milésimas de pulgada de grosor en aplicaciones de película gruesa. La formación de líneas más finas en superficies recién horneadas mostrará una definición de patrón deficiente, lo que resultará en una mayor resistencia del conductor, lo que inhibe el flujo de corriente y reduce el rendimiento del circuito. Una definición de patrón deficiente también puede contribuir a anomalías de rendimiento en circuitos de RF y microondas, por lo que lo puliremos.
- Mejor paralelismo entre las superficies superior e inferior
El pulido del sustrato mejora el paralelismo entre las superficies superior e inferior. La ventaja es que la capacitancia y la inductancia del sustrato se pueden controlar con mayor precisión cuando este se metaliza y se modela. Dado que la capacitancia y la inductancia son los principales factores que determinan la impedancia, un mayor paralelismo puede mejorar la predictibilidad y el rendimiento de los circuitos de RF y microondas.
Sustratos cerámicos para pulir con alúmina al 99,6 %
Por qué pulir sustratos cerámicos
- Capas de metalización más delgadas
El pulido reduce la amplitud de los picos y valles en la superficie del sustrato, lo que permite el uso de capas de metalización significativamente más delgadas. Las capas resistivas más delgadas aumentan la resistencia laminar del material, lo que permite valores de resistencia más altos al utilizar tecnología de película delgada, especialmente al usar patrones serpentinos.
- Mejor rendimiento óptico
La naturaleza misma de los dispositivos ópticos fabricados exige una superficie lisa y plana que va más allá de lo que normalmente requiere la microelectrónica. Generalmente, la luz debe moverse con precisión, doblarse, reflejarse, dividirse, transmitirse a través de fibras y utilizarse de maneras no previstas por la naturaleza. Todo esto debe lograrse con la menor pérdida de luz posible. En la mayoría de los casos, los colores no pueden alterarse ni desplazarse dentro del espectro. El pulido y el superpulido son los únicos métodos para lograr superficies altamente reflectantes o transmisivas. La superficie debe pulirse y aplanarse a una pequeña fracción de longitud de onda para un rendimiento óptimo.
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