熱分解黒鉛（PG）を、導体及びヒータとして、CVD法によりPBN板の表面上に配置しました。またPG加熱素子は再びPBNで覆われてもよいです。PGもPBNも非常に純粋（99.99%以上）であり、真空または不活性ガス中で非常に安定であるため、PBN-PG加熱素子は非常に耐久性があり、チャンバを清潔に維持しています。ガス成分を排出することなく、非常に高い1600°Cまで短時間で加熱することができます。これらの加熱素子は、半導体業界において、高温、高真空、高純度の用途を必要とする理想的な製品です。
PBN/PGヒーターのメリット：
1.PBN複合加熱素子の動作温度は1600°Cに達する。
2.高い機械耐久性と寸法安定性。
3.高耐熱衝撃性。
4.PBN層は電気絶縁を提供する。
5.排気ガスと汚染を除去する。
6.熱勾配はカスタマイズ可能である。
7.ほとんどの金属、液体、ガスに対して化学的に不活性である。
8.様々な形状のPGヒーターとPGNヒーターを提供する。
電子銃やイオン源、X線管などの真空電子機器では、電極の電気絶縁と安定した支持構造に加え、用途によってはセラミックと金属の気密接合が求められます。 特に、高真空・高温環境で使用される部品では、絶縁性能だけでなく、機械的強度、寸法安定性、接合部…
機器仕様に合わせた選定とカスタマイズに対応 燃焼熱を利用するプール加温設備では、点火部品の選定が機器開発の重要な要素となります。点火器には、着火に必要な温度に達することに加え、バーナー内の取付位置、気流条件、制御シーケンスとの適合が求められ…
800G光モジュールの広範な採用と1.6T製品の徐々な展開に伴い、高速光モジュールにおける熱蓄積、信号干渉、および長期信頼性の問題がますます顕著になっています。アルミナやFR-4などの従来の基板には性能の限界があり、バランスの取れた総合性能…
