PBN-PG ヒーター

熱分解黒鉛（PG）を、導体及びヒータとして、CVD法によりPBN板の表面上に配置しました。またPG加熱素子は再びPBNで覆われてもよいです。PGもPBNも非常に純粋（99.99%以上）であり、真空または不活性ガス中で非常に安定であるため、PBN-PG加熱素子は非常に耐久性があり、チャンバを清潔に維持しています。ガス成分を排出することなく、非常に高い1600°Cまで短時間で加熱することができます。これらの加熱素子は、半導体業界において、高温、高真空、高純度の用途を必要とする理想的な製品です。

PBN/PGヒーターのメリット：
1.PBN複合加熱素子の動作温度は1600°Cに達する。
2.高い機械耐久性と寸法安定性。
3.高耐熱衝撃性。
4.PBN層は電気絶縁を提供する。
5.排気ガスと汚染を除去する。
6.熱勾配はカスタマイズ可能である。
7.ほとんどの金属、液体、ガスに対して化学的に不活性である。
8.様々な形状のPGヒーターとPGNヒーターを提供する。