PBN材料とは、CVD高温蒸着法によって得られる熱分解窒化ホウ素材料を指します。BNとは、ホットプレス法によって得られる立方晶窒化ホウ素を指します。PBN部品の一般的な厚さは、製造プロセスの違いにより3mm以下です。PBNヒーターとは、PBN基板上にグラファイトの薄膜を堆積させ、機械加工（レーザー彫刻）によってグラファイトバンドを形成することで作製されるグラファイトヒーターを指します。

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