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新型無機材料――窒化アルミニウム(AlN)セラミックス Company
窒化アルミニウムセラミックスの主結晶相は窒化アルミニウム粉末であり、特性は下記になります。 1.窒化アルミニウムとは? 窒化アルミニウム(AIN)は六方晶ウルツ鉱構造を有する耐火化合物である 色はグレー 窒化アルミニウム結晶は[AIN 4]四面体構造に基づくウルツ鉱構造を有する共有結合化合物である 密度は 3.26 g/cm3 晶格常数 a = 3.11,c = 4.980 常圧での分解温度は 2480℃ 窒化アルミニウムセラミ…
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半導体業界におけるセラミック素子の技術的応用 Company
技術セラミックス部品は半導体製造装置の不可欠な一部であり、技術セラミックス部品は純度が高く、微量金属含有量が低いことを意味し、これはそれらがCVD、PVD、プラズマエッチングとイオン注入のプロセスチャンバ材料または内部プロセス表面は、その強誘電性が非常に有益であるため、半導体産業に広く応用されています。 半導体業界は、アルミナセラミックス(AL 2 O 3)、窒化アルミニウム(ALN)、多孔質セラミックス、窒化ホウ素(BN)、熱分解窒化ホウ素(PBN)、炭化ケイ素(SiC)を含む先進的な技…