窒化アルミニウムセラミックス

窒化アルミニウム（AlN）は、非常に高い熱伝導性と優れた電気絶縁性を備えた工業用セラミック材料です。六方晶系の結晶構造を持ち、共有結合した材料です。
高密度の工業用グレードの材料を製造するには、焼結助剤とホットプレスプロセスが必要です。
不活性ガス環境で非常に安定しています。空気中では、700℃を超えると表面酸化が始まります。酸化アルミニウム層が形成され、1370℃まで材料を保護します。この温度を超えると、バルク酸化が起こります。
窒化アルミニウムは、水素および二酸化炭素雰囲気中では980℃にも達することがあります。鉱酸中では粒界を攻撃してゆっくりと溶解し、強塩基中では窒化アルミニウムの粒を攻撃してゆっくりと溶解します。この材料は水中でゆっくりと加水分解します。放熱が重要となるエレクトロニクス分野によく使われています。
窒化アルミニウムは、酸化ベリリウムの無毒な代替品として大きな注目を集めています。多くの電子機器アプリケーションでは、金属化法を使用して、酸化アルミニウムや酸化ベリリウム (BeO) を窒化アルミニウム (AlN) に置き換えることができます。

特性
優れた誘電特性
高い熱伝導率
シリコンに近い低い熱膨張係数
従来の半導体プロセス用化学薬品やガスと反応しない

応用分野
電子パッケージ基板
ヒートシンク
ICパッケージ
パワートランジスタベース
マイクロ波デバイスパッケージ
材料処理窯設備
半導体処理チャンバー用固定具および絶縁体
溶融金属ハンドリング部品