ウェーハ製造において、TTV、Bow、Warp はウェーハの平坦性と厚さの均一性を決定する重要なパラメータであり、重要なチップ製造プロセスに大きな影響を与えます。     A.TTV、ボウ、ワープの定義と測定方法   1.TTV（総厚さ変動）   定義： TTVは、ウェーハの直径全体における最大厚さと最小厚さの差を指し、厚さの均一性を評価します。   測定： 非クランプ状態で測定し…