随着中国半导体技术自给自足的不断推进，国内制造商正努力生产先进的陶瓷加热器。陶瓷加热器是芯片制造设备的关键部件，能够确保关键半导体制造工序的精确温度控制，是现代晶圆厂不可或缺的关键部件。     为什么陶瓷加热器在半导体制造中如此重要？   在半导体生产中，晶圆要经过薄膜沉积（CVD、PECVD、ALD）和蚀刻等工艺，这些工艺需要极其精确且均匀的加热。传统金属加热器在高温（500°C 以上）下使用受限，原因是热膨胀和颗粒污染风险。 …

氮化铝加热器主要由氮化铝陶瓷材料制成，是一种高性能加热元件，能够承受极端温度并提供高效的热量分布，彻底改变了高温应用。     氮化铝陶瓷加热器特点： 快速加热和冷却： 它能够在很短的时间内迅速达到高温，例如，一些数据显示它可以在 5 秒内达到 600°C，这是加热设备中的最佳性能。   高速散热能力，可快速响应温度变化，提高工作效率。 优异的导热性能： 氮化铝加热器凭借优异的导热性能，能够快速均匀地将热…

Innovacera 的专用加热器设计灵活，可满足不同应用对不同施工方法的需求。这种灵活性使得加热器可以根据应用配置成各种形状和尺寸。 我们开发了采用高导热性氮化铝 ( AlN) 的氮化铝 ( AlN) 加热器，这些加热器通过均匀烧结电阻加热元件，提供出色的温度一致性，并显著减少金属污染和杂质。 AlN 加热器的优势： 1. 导热系数与铝相当，可实现快速均匀的热响应 2. 功率密度高于任何金属或陶瓷加热器技术，可在小范围内集中热量 3. 集成 RTD 传感器，可实现最佳加热器…

Innovacera 的专用加热器设计灵活，可满足不同应用场合对不同构造方法的需求。这种灵活性使得加热器可以根据应用场合配置成各种形状和尺寸。 我们开发了采用高导热性 AIN 的 AIN 加热器，这些加热器通过均匀烧结电阻加热元件，实现了出色的温度一致性，并显著减少了金属污染和杂质。 AIN 加热器的优势： 1. 导热系数与铝相当，可实现快速均匀的热响应 2. 功率密度高于任何金属或陶瓷加热器技术，可在小范围内集中热量 3. 集成 RTD 传感器，可实现最佳加热器温度控…