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注入机陶瓷零件

  • 注入机半导体工艺设备用电气绝缘氧化铝陶瓷零件 Company

    氧化铝陶瓷零件因其优异的电绝缘性能、高导热性和机械强度而被广泛应用于半导体工艺设备。在半导体制造中,氧化铝陶瓷零件在注入机设备中尤为重要。     注入机设备用于离子注入,这是半导体制造中的一项关键工艺,其中离子被加速并注入基板以改变其性能。   注入机中使用的氧化铝陶瓷部件包括绝缘体、晶圆和支撑结构,均设计用于承受离子注入工艺中典型的高温和腐蚀性环境:   陶瓷晶圆载体:在离子注入过程中固定和支撑晶圆…

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