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真空蒸发坩埚

  • 氮化铝(AlN)陶瓷坩埚 Company

    氮化铝陶瓷坩埚由于其导热系数高(≥170W/m.k),可用于热传导达到加热效果,在电子设备中得到广泛的应用,如电子设备的气体雾化等。 氮化铝坩埚还可作为真空蒸发和金属冶炼的容器,特别适合用于铝的真空蒸发坩埚。 由于氮化铝陶瓷在真空中加热,蒸气压低,即使分解也不会对铝造成污染。 在半导体工业中,用氮化铝坩埚代替石英坩埚合成砷化物,可以完全消除Si对GaAs的污染,并可得到高纯度的产品。 [caption id="attachment_26512" align="alignnone"…

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