提取电极

什么是氮化硼？六方氮化硼 (h-BN) 陶瓷具有与石墨相似的微观结构。它通过在高达 2000°C 的高温和高压下热压氮化硼粉末制成。最大毛坯尺寸为 500 × 500 × 200 毫米，并且可以进一步加工成复杂的形状。为什么氮化硼陶瓷可以用于离子注入机？离子注入是半导体制造中的一个关键工艺，在该工艺中，晶圆会被掺杂外来原子，以改变材料的导电性和晶体结构等特性。 大电流引出电极是离子注入系统的核心。…