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电极绝缘体

  • 离子注入机氮化硼电极绝缘体 Company

    什么是氮化硼? 六方氮化硼 (h-BN) 陶瓷具有与石墨相似的微观结构。它通过在高达 2000°C 的高温和高压下热压氮化硼粉末制成。最大毛坯尺寸为 500 × 500 × 200 毫米,并且可以进一步加工成复杂的形状。 为什么氮化硼陶瓷可以用于离子注入机? 离子注入是半导体制造中的一个关键工艺,在该工艺中,晶圆会被掺杂外来原子,以改变材料的导电性和晶体结构等特性。   大电流引出电极是离子注入系统的核心。它必须承受高达 1400°C 的高温、强电…

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