真空蒸发坩埚

氮化铝陶瓷坩埚由于其导热系数高（≥170W/m.k），可用于热传导达到加热效果，在电子设备中得到广泛的应用，如电子设备的气体雾化等。氮化铝坩埚还可作为真空蒸发和金属冶炼的容器，特别适合用于铝的真空蒸发坩埚。由于氮化铝陶瓷在真空中加热，蒸气压低，即使分解也不会对铝造成污染。在半导体工业中，用氮化铝坩埚代替石英坩埚合成砷化物，可以完全消除Si对GaAs的污染，并可得到高纯度的产品。氮化铝陶瓷坩埚氮化铝…