-
用于 PVD、CVD 系统的氮化硼(BN)绝缘子 Company
氮化硼具有高介电强度和高化学惰性,非常适合用于在严苛高温环境下(例如 PVD、CVD 和等离子工艺)的各种屏蔽和绝缘部件。 氮化硼部件,例如绝缘导轨、保护管、靶框、屏蔽罩和衬垫,可确保 PVD 电弧始终朝向靶材,从而防止设备损坏。在这些应用中,氮化硼通常用作热解氮化硼的替代品。
-
高温炉用氮化硼陶瓷绝缘子 Company
高温炉设计包含由碳、钨或钼制成的加热元件。当高温炉的工作温度明显高于1500°C时,元件使用氧化铝陶瓷与炉侧电绝缘。 随着技术的发展,越来越多的公司需要生产周期更短、加热和冷却速度更快的高温电炉。这些氧化物陶瓷绝缘部件容易因高压而导致组件故障,从而增加炉子的停机时间。 与传统氧化铝材料相比,由六方氮化硼(BN)制成的陶瓷组件的工作寿命要长得多。对于极高温度和真空或惰性条件下的热工艺,氮化硼陶瓷通常是唯一可行的解决方案。氮化硼陶瓷材料在惰性气…