Während des Betriebs bildet gefilterter Druckluft einen gleichmäßigen Luftfilm zwischen den Luftlagern und den keramischen Führungsoberflächen, sodass sich die beweglichen Komponenten ohne direkten mechanischen Kontakt bewegen können. Im Vergleich zu herkömmlichen Rollführungen reduziert die Luftlagerstruktur Reibung, Stick-Slip bei niedriger Geschwindigkeit, mechanischen Verschleiß und durch Schmierstoffe verursachte Störungen, was die kontinuierliche Abtastungsglättigkeit, Geschwindigkeitskonsistenz und wiederholbare Bewegungsleistung verbessert.
Die keramischen Hauptkomponenten können präzise geschliffen, geläppt und poliert werden, um Flachheit, Parallelität, Senkrechtigkeit, Oberflächenrauheit und kritische Montagedatums zu kontrollieren. Plattformabmessungen, Achskonfigurationen, Montagebohrungen, pneumatische Schnittstellen und Antriebs- sowie Feedback-Schnittstellen können an den verfügbaren Geräteraum und die Bewegungsanforderungen angepasst werden.
Produktmerkmale:
1. Berührungslose Luftlager-Bewegung
2. Hochreines Aluminiumoxid-Keramik-Führungsschiene und Datum-Oberflächen
3. Mikrometer-Level geometrische Genauigkeitskontrolle
4. Glatte Abtastung und stabile Geschwindigkeitssteuerung
5. Unterstützt langfristige Genauigkeitserhaltung
6. Geeignet für saubere und niedrig verunreinigte Umgebungen
7. Konfigurierbare Multi-Achsen-Architektur
Spezifikationen:
| Plattform-Serie | Größenklasse | Flachheit | Parallelität | Senkrechtigkeit | Bemerkungen |
|---|---|---|---|---|---|
| INV Serie | 600 Serie | 2 μm | 2 μm | 2 μm | Konfigurierbar |
| INV Serie | 800 Serie | 2 μm | 2 μm | 2 μm | Konfigurierbar |
| INV Serie | 1200 Serie | 2 μm | 2 μm | 2 μm | Konfigurierbar |
Typische Anwendungen
Präzise Messtechnik und Inspektionsgeräte
Als Bewegungsmodul für präzise Maßinspektion, Oberflächenprofilmessung, berührungslose Messung, Sonde-Scanning und Koordinatenmessgeräte (KMG).
Halbleiter- und Wafer-Inspektion
Für Wafer-Inspektion, Substrat-Scanning, Photomask-Inspektion, Gehäuse-Inspektion und Präzisions-Positions- und Handhabungsplattformen in Halbleiterausrüstung.
Optische und Photonik-Systeme
Für Strahl-Alignment, Objektiv-Inspektion, interferometrische Messung, Faserkoppeln, optische Komponenten-Scanning und photonische Bauelemente-Assembly und Alignment.
Laserbearbeitung und Mikro- und Nanofabrikation
In Laser-Schneiden, Laser-Markieren, Mikro-Maschinen, Präzisions-Exposition und anderen Systemen, die stabile Scan-Geschwindigkeit erfordern.
Anzeigepanel- und Elektronikinspektion
Für Scanning, Inspektion und Positionierung von Glas-Substraten, Anzeigepanels, Leiterplatten (PCBs) und präzisen Elektronikkomponenten.
Automatisierte Montage
In hochpräziser Dosier-, Platzier-, Alignment-, Pick-and-Place-, Montage- und Inline-Inspektionssystemen.
Luftlager-Plattformen sind in der Messtechnik, Halbleiterverarbeitung, optischen Ausrichtung, Wafer-Handling und präzisen Scanning etabliert. Ihr Schlüsselwert liegt in glatter Bewegung, geringer Reibung, Geschwindigkeitsstabilität und präziser Kontrolle der geometrischen Leistung.
Bauen Sie eine stabile keramische Referenz für Ihr Präzisionsbewegungssystem auf
Geben Sie die Plattformabmessungen, Hubweg, Belastung, Genauigkeitsanforderungen und Zeichnungen an. INNOVACERA kann bei der Bewertung maßgeschneiderter Lösungen für Aluminiumoxid-Keramik-Führungen, Präzisions-Datum-Komponenten und Multi-Achsen-Luftlager-Plattformen unterstützen.
Erklärung: Dies ist ein Originalartikel von INNOVACERA®. Bitte geben Sie den Quelllink an, wenn Sie ihn erneut veröffentlichen: https://www.innovacera.com/de/product/ceramic-air-bearing-multi-axis-motion-platform
Häufig gestellte Fragen
Warum Hochreines Aluminiumoxid für Luftlager-Führungen wählen? Wie verbessert es die Scanning- und Metrologie-Leistung?
Hochreines Aluminiumoxid-Keramik bietet außergewöhnliche Maßstabilität, ein hohes Steifigkeits-Gewichts-Verhältnis, geringe thermische Ausdehnung und überlegene Verschleißbeständigkeit. In Verbindung mit aerostatischen Luftlagern beseitigt der gleichmäßige Luftfilm mechanischen Kontakt, Reibung und Stick-Slip bei niedriger Geschwindigkeit. Dies ermöglicht geometrische Genauigkeit im Mikrometerbereich (Flachheit, Parallelität und Senkrechtigkeit ≤ 2 μm) sowie reibungslose Geschwindigkeitsstabilität, wodurch es ideal für ultrapräzise Metrologie, optische Abtastung und Halbleiter-Wafer-Inspektion ist.
Kann ich eine kundenspezifische Multi-Achsen-Keramik-Luftlager-Plattform erhalten? Welche Spezifikationen sollten dem Hersteller bereitgestellt werden?
Ja, als spezialisierter Hersteller bietet INNOVACERA maßgeschneiderte keramische Luftlager-Lösungen. Kunden können Hubweg, Plattformabmessungen (z.B. 600, 800, 1200 Serie), Achskonfigurationen (X/Y/Z/θ), Montagebohrungen und pneumatische/Antriebsschnittstellen anpassen. Um eine technische Bewertung und Preisangebot zu erhalten, geben Sie bitte Ihre Zielbelastung, Bewegungsstrecke, Positionsgenauigkeitsanforderungen und CAD-Zeichnungen an.
