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Leitfähige Boritrid-Schmelzpfannen

INNOVACERA’s leitfähige Boritrid-Schmelzpfannen revolutionieren die Halbleiterfertigung, indem sie sowohl als Ätzmittel als auch als Material für Dünnschichtabscheidung dienen. Für Elektronenstrahlverdampfungskoating- Beschichtungen gefertigt, schützen diese hochreinen Schmelzpfannen Geräte vor Schäden und Verunreinigung und ermöglichen die präzise Herstellung vielfältiger Dünnschichtmaterialien. Ihre einzigartige Leitfähigkeit und glatte Oberfläche gewährleisten optimale Verdampfungsrate und Filmdichte, was sie zur ersten Wahl für fortgeschrittene Halbleiterfertigung macht.

Leitfähige Boritrid-Schmelzpfannen zeichnen sich durch ausgezeichnete Hochtemperaturbeständigkeit und thermisches Schwingungsverhalten aus und reagieren nicht mit verschiedenen Metallen und keramischen Seltenen Erden.

Auch bei rascher Erhitzung und Abkühlung bleibt die Schmelzpfanne intakt.
Sie können für Legierungs schmelzen, Seltenen Erden- und Keramiksinterung sowie Elektronenstrahlverdampfungskoating verwendet werden.

Sie werden häufig in thermischen Verdampfungsprozessen wie Hochfrequenz-Induktionserwärmung, Beschichtungen, Elektronenstrahlverdampfungskoating, Aluminium- und Siliziumplattierung eingesetzt.

Leitfähige Boritrid-Schmelzpfannen bieten hohe Reinheit, hohe Oberflächenbeschaffenheit und ausgezeichnete Eigenschaften für Elektronenstrahlverdampfungskoating.

Sie erhöhen die Verdampfungsrate, beschleunigen Materialwechsel, verbessern die thermische Stabilität und reduzieren den Energieverbrauch, was die Produktivität und Wirtschaftlichkeit steigert.

Vorteile:
gute Filmbeschaffenheit, hohe Reinheit, geringe Verunreinigung, langer Serviceleben.

1. Ausgezeichnete Beständigkeit gegen hohe Temperaturen und thermische Schwingungen.
Sie weist eine niedrige Wärmeausdehnung auf und ist beständig gegen Benetzung durch die meisten geschmolzenen Metalle.

2. Hitzebeständig bis 2000°C, reagiert Boritrid nicht mit Aluminium und ist nicht flüchtig.

3. Erhöhung der Verdampfungsrate; Eine höhere Verdampfungsrate führt zu kürzeren Zykluszeiten und höherem Gesamtertrag.

4. Schneller Materialwechsel; Leitfähige Boritrid-Schmelzpfannen erleichtern schnelle Materialwechsel, minimieren Stillstandszeiten des Ofenraums und verbessern die Prozesseffizienz.

5. Erhöhte thermische Stabilität; Diese Schmelzpfannen weisen eine höhere thermische Stabilität auf, wodurch die Wärmeübertragung von der Schmelzpfanne selbst reduziert wird, um eine konsistente und kontrollierbare Verdampfung zu gewährleisten.

Hauptzutaten: BN+TiB2
Dichte 3,0 g/cm³
Bindemittelzusammensetzung: B₂O₃
Farbe: Grau
Raumtemperaturwiderstand: 300-2000 Ω·cm
Betriebstemperatur: unter 1800 °C
Wärmeleitfähigkeit: > 40 W/(m·K)
Wärmeausdehnungskoeffizient: (4–6) × 10⁻⁶ K⁻¹
Biegefestigkeit: > 130 MPa
Verdampfungsrate: 0,35–0,5 g/min·cm²

Erklärung: Dies ist ein Originalartikel von INNOVACERA®. Bitte geben Sie den Quelllink an, wenn Sie ihn erneut veröffentlichen: https://www.innovacera.com/de/product/conductive-boron-nitride-crucibles.