Wichtige Konstruktionsvorteile
Erklärung: Dies ist ein Originalartikel von INNOVACERA®. Bitte geben Sie den Quelllink an, wenn Sie ihn erneut veröffentlichen: https://www.innovacera.com/de/product/shielded-vacuum-feedthrough
Häufig gestellte Fragen
Was ist ein abgeschirmtes Hochspannungs-Vakuum-Durchführung? Warum ist die geerdete Abschirmung für Vakuumkammern essenziell?
Ein abgeschirmtes Hochspannungs-Vakuum-Durchführung ist ein speziell für die Stromübertragung (bis zu 5kV Gleichstrom / 3,6A) in Vakuumkammern konstruierter keramisch-metallischer hermetischer Anschluss, der die Dichtigkeit nicht beeinträchtigt. Das integrierte geerdete Abschirmungskonzept ist entscheidend, weil es Hochspannungsfelder abtrennt, elektromagnetische Störungen (EMI) unterdrückt, elektrische Durchschläge verhindert und Leckagerisiken beseitigt – somit Prozessstabilität und Sicherheit in anspruchsvollen Umgebungen wie Halbleitergeräten, Massenspektrometern und Ultrahochvakuum-Systemen gewährleistet.
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Wie wird diese Hochspannungs-Durchführung installiert? Welche sind ihre Haupttemperatur- und Druckgrenzen?
Diese Durchführung verfügt über ein schweißbares Gehäuse aus 304 Edelstahl, das direkt an Kammerwände geschweißt werden kann, um eine dauerhafte, ultrahochvakuumtaugliche (UHV) hermetische Versiegelung zu erreichen. Für Betriebsbedingungen widersteht sie maximalen Drücken bis zu 1400 PSIG @ 20°C. Ihr Arbeits-Temperaturbereich liegt bei -269°C bis 450°C in der steckerfreien Ausführung und bei -65°C bis 165°C bei Verwendung eines Steckers.
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