- ¿Qué es un calentador PBN?
El material PBN se refiere al nitruro de boro pirolítico obtenido mediante deposición CVD a alta temperatura. BN se refiere al nitruro de boro cúbico, que se obtiene mediante prensado en caliente.
El espesor habitual de las piezas PBN es inferior o igual a 3 mm debido a los diferentes procesos de adquisición.
El calentador PBN se refiere a un calentador de grafito que se forma depositando una fina capa de grafito sobre un sustrato PBN y formando una banda de grafito mediante mecanizado (grabado láser).
Finalmente, la capa de grafito se cubre con una capa de recubrimiento de PBN (parte expuesta del electrodo) para formar un calentador de grafito completo.
- ¿De cuántas maneras se puede procesar?
Generalmente, existen dos métodos:
1.ª: Lámina de PBN para crear una ranura de buena calidad y luego recubierta con grafito pirolítico. Se añade una capa de recubrimiento de PBN (fuera del circuito grabado por el disco de PBN, se deposita grafito pirolítico sobre el circuito y luego se deposita una capa de PBN sobre la superficie del PG), con un grosor de aproximadamente mm, voltaje y corriente, y finalmente una capa de grafito.
Grosor aproximado: 3 mm. Voltaje y corriente a elección del cliente, pero debe ser de bajo voltaje y alta corriente, con un calentamiento rápido.
2.ª: Canal de grafito de buena calidad, luego canal de ambos lados recubierto con PBN. Sin embargo, el grafito, como dispositivo de calentamiento, al calentarse con corriente alterna, produce resonancia magnética. El recubrimiento de PBN es fácil de desprender, por lo que no se recomienda este método de producción.
Por lo tanto, este método de producción no se recomienda, generalmente según el primer método.
Por lo tanto, se puede observar que el sustrato y la capa aislante son de PBN, y el generador de calor es cinta de grafito.
- ¿Por qué se fabrica de esta manera?
El recubrimiento superficial de grafito o grafito pirolítico se usa ampliamente en el campo de la calefacción, pero en condiciones de vacío y alta temperatura, el grafito continúa precipitando impurezas que contaminan los materiales ultrapuros. El uso de nitruro de boro, no poroso y con bajo coeficiente de expansión térmica, ofrece las ventajas de la capa exterior de grafito recubierta con PBN, ya que bloquea las impurezas precipitadas por el grafito y evita la contaminación de los materiales ultrapuros. Tras el recubrimiento, el grafito se calienta repetidamente, por lo que la capa superficial de nitruro de boro no es fácil de desprender.
- Ventajas:
La almohadilla térmica de PBN ofrece ventajas como estabilidad química, resistencia a la corrosión, etc. Generalmente, la temperatura máxima de calentamiento de la muestra es de aproximadamente 1200 ℃ y puede funcionar en una atmósfera de oxígeno de E-5 mbar.
Durante el trabajo, es necesario evitar subidas y bajadas bruscas de temperatura causadas por el desprendimiento de la capa de recubrimiento de PBN y la capa de grafito. Además, es importante asegurar un buen contacto eléctrico entre los electrodos para evitar el sobrecalentamiento y daños en los electrodos.
- Resumen de las características de rendimiento:
– Temperatura máxima en vacío: 1650 ℃
– Temperatura máxima en aire: 300 ℃ (No recomendado)
– Alto vacío, presión extra alta, ambiente corrosivo
– Velocidad de rampa muy rápida, masa muy baja
– Muy inerte
– Los elementos PG están encapsulados en PBN y son completamente inmunes a los productos de deposición.
– Las muestras se pueden colocar directamente sobre la placa cerámica calentada.
– Tamaños de hasta 4″ cuadrados o redondos.
Correo electrónico: sales@innovacera.com
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