- PBNヒーターとは何ですか？
PBN材料とは、CVD高温堆積法で得られる熱分解窒化ホウ素 材料を指します。BNは、ホットプレス法で得られる立方晶窒化ホウ素を指します。
The common thickness of PBN parts is less than or equal to 3mm due to the different acquisition processes.
PBN ヒーター とは、PBN 基板上にグラファイトの薄層を堆積し、機械加工（レーザー彫刻）によりグラファイト帯を形成したグラファイトヒーターを指します。
最後にグラファイト層をPBNカバー層（電極部分が露出した層）で覆い、グラファイトヒーターが完成します。
- 処理方法はいくつありますか?
一般的に、2つの方法があります：
1番目: PBNシートに良好な溝を作り、熱分解グラファイトでコーティングします。次に、PBNコーティング層を追加します（PBNディスクで刻まれた回路の外側に、熱分解グラファイトを堆積させ、さらにPGの表面にPBN層を堆積させます）。厚さは約mmで、電圧と電流を調整し、最後にグラファイト層を追加します。
厚さは約3mm程度で、電圧と電流はお客様のご要望に応じて調整しますが、低電圧・高電流、高速加熱が推奨されます。
2番目: グラファイト トラフが良好で、次にトラフの両面に PBN をコーティングしますが、グラファイトを加熱装置として使用すると、交流加熱により磁気共鳴が発生し、PBN コーティングが剥がれやすくなります。そのため、この製造方法は推奨されません。
一般的には最初の方法に従って、この製造方法は推奨されません。
したがって、基板および絶縁被覆層は PBN であり、発熱体はグラファイト テープであることがわかります。
- なぜこのように製造されるのでしょうか?
グラファイトまたは熱分解グラファイトで表面をコーティングしたグラファイトは、加熱分野で広く使用されていますが、真空および高温条件下ではグラファイトが不純物を析出し続け、超高純度材料を汚染します。そこで、非多孔性で熱膨張係数が低い窒化ホウ素（PBN）の利点を活かし、グラファイト外層にPBNコーティングを施すことで、グラファイトによって析出した不純物を遮断し、超高純度材料の汚染を防ぎます。コーティング後のグラファイトは、何度も加熱されても、窒化ホウ素の表面層が剥がれにくい構造となっています。
- メリット:
PBN加熱パッドは化学的安定性、耐腐食性などの利点を有し、一般的にサンプルの最高加熱温度は約1200℃で、E-5mbarの酸素雰囲気下で動作可能です。
動作中は、PBNカバー層とグラファイト層の剥離による急激な温度上昇や温度低下を避けるように注意する必要があります。また、電極間の電気的接触が良好であることも確認し、接触部の過熱や電極の損傷を防ぐように注意する必要があります。
- パフォーマンス特性を要約する:
-真空中の最高温度 1650℃
-空気中の最高温度 300℃（非推奨）
-高真空、超高圧、腐食性環境
-非常に速い昇温速度、非常に低い質量
-非常に不活性
-PG素子はPBNで包まれており、堆積生成物の影響を受けません
-サンプルは加熱されたセラミック素子プレートに直接置くことができます
-サイズは最大4インチ角または円形
ご質問や大型ヒーターのご要望がございましたら、お気軽にテクニカルセールスチームまでお問い合わせください。カスタマイズも可能です。
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