構造パラメータ表:
| 構造 | 値 |
| 材質オプション | セラミックメッキ（金/ステンレス鋼/モリブデン） |
| ロッド径 | 2～16mm |
| ロッド長さ | 100～300mm |
| ベース | アルミナセラミック／機械加工可能なガラスセラミック |
| 総合精度 | ≤3μm |
99%アルミナセラミック材料特性
| タイプ | 単位 | 規格 | 値 |
| 色 | – | – | アイボリー |
| 主な特性 | – | 優れたプラズマ腐食耐性、高い耐摩耗性。 | |
| 用途分野 | – | – | 半導体装置部品、耐摩耗・耐腐食部品。 |
| 密度 | g/cm3 | ISO18754:2003 | 3.88 |
| 吸水率 | % | – | 0 |
| ビッカース硬度 | HV | ASTM-C1327-15 | 17 |
| 曲げ強度 | MPa | ASTM-C1161-13 | 350 |
| 圧縮強度 | MPa | GB/T8489-2006 | 2450 |
| ヤング率 | GPa | ASTM-C1198-09 | 350 |
| ポアソン比 | – | ASTM-C1421-18 | 0.22 |
| 破壊靭性 | MPa·m1/2 | ASTM-C1421-18 | 4-5 |
| 線膨張係数 (40-400°C) | x10-6/°C | ASTM-E1461-13 | 8.2 |
| 熱伝導率 (20°C) | W/(m·k) | ASTM-E1461-13 | 25-30 |
| 比熱 | J/(kg·k)x103 | ASTM-E1461-13 | 0.8 |
| 体積抵抗率 (20°C) | Ω·cm | – | >1015 |
| 誘電率強度 | KV/mm | – | 20 |
| 誘電率 | – | ASTM-D2149-13 | 9.2 |
| 誘電損失係数 | ×10-4 | ASTM-D2149-13 | 2 |
| 硝酸 (HNO3) (90°C) | 重量減少 | – | <0.12 |
| 硫酸 (H2SO4) (95°C) | – | <0.3 | |
| 水酸化ナトリウム (NaOH) (80°C) | – | <0.9 | |
| 最高使用温度 | °C | – | 1500 |
メリット：
- カスタム仕様
- 優れた表面処理技術
- 高精度な設置、3μmの包括的な公差
- 一貫したプロセス管理
- 高純度アルミナセラミックカラー
- 高品質なチャンバーとアクセサリの統合
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