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Quadrupol-Massenfilter

Innovaceras Quadrupol-Massenfilter, abgekürzt als Quadrupol, ist die zentrale Komponente des Quadrupol-Massenspektrometers. Es besteht通常 aus vier parallelen zylindrischen oder hyperbolischen Metallstäben. Zwei Elektrodenpaare werden angewendet: Gleichstromspannung (DC, U) und Hochfrequenzspannung (HF, V·cos(ωt)). Der Quadrupol-Massenanalysator trennt Ionen basierend auf der Stabilität der Ionenbahn im oscillierenden elektrischen Feld.

Strukturraster Tabelle:

Struktur Wert
Materialoptionen Aluminiumoxid-beschichtete Gold/Rostfreier Stahl/Molybdän
Stabdurchmesser 2-16 mm
Stablänge 100-300 mm
Basis Aluminiumoxid-Keramik/Bearbeitbare Glas-Keramik
Gesamtgenauigkeit ≤3 μm

99 % Aluminiumoxid-Keramik Materialeigenschaften

Typ Einheit Standard Wert
Farbe Elfenbein
Hauptmerkmale Ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit gegen Plasma, hohe Verschleißfestigkeit.
Anwendungsbereich Komponenten für Halbleitergeräte, verschleißfeste und korrosionsbeständige Teile.
Dichte g/cm3 ISO18754:2003 3,88
Wasseraufnahme % 0
Vickers-Härte HV ASTM-C1327-15 17
Biegefestigkeit MPa ASTM-C1161-13 350
Druckfestigkeit MPa GB/T8489-2006 2450
Young’scher Modul GPa ASTM-C1198-09 350
Poissonsches Verhältnis ASTM-C1421-18 0,22
Risszähigkeit MPa·m1/2 ASTM-C1421-18 4-5
Linearer Ausdehnungskoeffizient (40-400°C) x10-6/°C ASTM-E1461-13 8,2
Wärmeleitfähigkeit (20°C) W/(m·K) ASTM-E1461-13 25-30
Spezifische Wärme J/(kg·K)x103 ASTM-E1461-13 0,8
Volumenwiderstand (20°C) Ω·cm >1015
Dielektrische Festigkeit kV/mm 20
Dielektrische Konstante ASTM-D2149-13 9,2
Dielektrischer Verlustkoeffizient x10-4 ASTM-D2149-13 2
Salpetersäure (HNO3) (90°C) Gewichtsverlust <0,12
Schwefelsäure (H2SO4) (95°C) <0,3
Natriumhydroxid (NaOH) (80°C) <0,9
Max. Verwendungstemperatur °C 1500

Vorteile:

  • Maßgeschneiderte Spezifikationen
  • Superior Oberflächenbehandlungstechnologie
  • Hochgenaue Montage, 3 μm Gesamt toleranz
  • Konsistente Prozessführung
  • High-Purity Aluminiumoxid-Keramik-Kragen
  • High-Quality Kammer und Zubehör-Integration

Erklärung: Dies ist ein Originalartikel von INNOVACERA®. Bitte geben Sie den Quelllink an, wenn Sie ihn erneut veröffentlichen: https://www.innovacera.com/de/product/quadrupole-mass-filter.

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