结构参数表：
| 结构 | 数值 |
| 材料选项 | 陶瓷镀金/不锈钢/钼 |
| 杆直径 | 2-16mm |
| 杆长度 | 100-300mm |
| 基座 | 氧化铝陶瓷/可加工玻璃陶瓷 |
| 综合精度 | ≤3μm |
99% 氧化铝陶瓷材料特性
| 类型 | 单位 | 标准 | 数值 |
| 颜色 | – | – | 象牙色 |
| 主要特性 | – | – | 优异的等离子体耐腐蚀性，高耐磨性。 |
| 应用领域 | – | – | 半导体设备部件、耐磨及耐腐蚀零件。 |
| 密度 | g/cm3 | ISO18754:2003 | 3.88 |
| 吸水率 | % | – | 0 |
| 维氏硬度 | HV | ASTM-C1327-15 | 17 |
| 抗弯强度 | MPa | ASTM-C1161-13 | 350 |
| 抗压强度 | MPa | GB/T8489-2006 | 2450 |
| 杨氏模量 | GPa | ASTM-C1198-09 | 350 |
| 泊松比 | – | ASTM-C1421-18 | 0.22 |
| 断裂韧性 | MPa·m1/2 | ASTM-C1421-18 | 4-5 |
| 线膨胀系数 (40-400°C) | x10-6/°C | ASTM-E1461-13 | 8.2 |
| 导热系数 (20°C) | W/(m·k) | ASTM-E1461-13 | 25-30 |
| 比热容 | J/(kg·k)x103 | ASTM-E1461-13 | 0.8 |
| 体积电阻率 (20°C) | Ω·cm | – | >1015 |
| 介电强度 | KV/mm | – | 20 |
| 介电常数 | – | ASTM-D2149-13 | 9.2 |
| 介电损耗系数 | x10-4 | ASTM-D2149-13 | 2 |
| 硝酸 (HNO3) (90°C) | 重量损失 | – | <0.12 |
| 硫酸 (H2SO4) (95°C) | – | <0.3 | |
| 氢氧化钠 (NaOH) (80°C) | – | <0.9 | |
| 最高使用温度 | °C | – | 1500 |
优势：
- 可定制规格
- 优越的表面处理技术
- 高精度安装，3μm 综合公差
- 一致的工艺管理
- 高纯度氧化铝陶瓷套件
- 高质量腔室及配件集成
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