Filtro de Masa Cuadrupolo

Estructural	Valor
Opciones de Material	Placa de Cerámica con Oro/Acero Inoxidable/Molibdeno
Diámetro de varilla	2-16 mm
Longitud de la varilla	100-300 mm
Base	Cerámica de Alúmina/Cerámica de Vidrio Moldeable
Precisión integral	≤3 μm

Propiedades del Material de Cerámica de Alúmina al 99%

Tipo	Unidad	Estándar	Valor
Color	–	–	Marfil
Características principales	–	–	Excelente resistencia a la corrosión por plasma, alta resistencia al desgaste.
Campo de aplicación	–	–	Componentes de equipo semiconductor, piezas resistentes al desgaste y a la corrosión.
Densidad	g/cm³	ISO18754:2003	3.88
Absorción de agua	%	–	0
Dureza Vickers	HV	ASTM-C1327-15	17
Resistencia a la flexión	MPa	ASTM-C1161-13	350
Resistencia a la compresión	MPa	GB/T8489-2006	2450
Módulo de Young	GPa	ASTM-C1198-09	350
Coeficiente de Poisson	–	ASTM-C1421-18	0.22
Toughness de fractura	MPa·m^1/2	ASTM-C1421-18	4-5
Coeficiente lineal de expansión (40-400°C)	x10^-6/°C	ASTM-E1461-13	8.2
Conductividad térmica (20°C)	W/(m·K)	ASTM-E1461-13	25-30
Calor específico	J/(kg·K)x10^3	ASTM-E1461-13	0.8
Resistividad volumétrica (20°C)	Ω·cm	–	>10^15
Resistencia dieléctrica	KV/mm	–	20
Constante dieléctrica	–	ASTM-D2149-13	9.2
Coeficiente de pérdida dieléctrica	x10^-4	ASTM-D2149-13	2
Ácido nítrico (HNO3) (90°C)	Pérdida de peso	–	<0.12
Ácido sulfúrico (H2SO4) (95°C)		–	<0.3
Hidróxido de sodio (NaOH) (80°C)		–	<0.9
Temperatura máxima de uso	°C	–	1500

Beneficios：

• Especificaciones personalizadas
• Tecnología superior de tratamiento superficial
• Instalación de alta precisión, tolerancia integral de 3μm
• Gestión consistente del proceso
• Anillos de cerámica de alúmina de alta pureza
• Integración de cámara y accesorios de alta calidad