- 什么是PBN加热器?
PBN材料是指通过CVD高温沉积得到的热解氮化硼材料。BN是指立方氮化硼,通过热压获得。
由于获取工艺不同,PBN零件常见厚度小于或等于3mm。
PBN加热器是指在PBN基体上沉积一层薄石墨,通过机械加工(激光雕刻)形成石墨带而形成的石墨加热器。
最后在石墨层上覆盖一层PBN覆盖层(露出电极部分),成为完整的石墨加热器。
- 加工方式有几种?
一般有两种方式:
第一种:PBN片制作好槽,然后涂上热解石墨,再加一层PBN涂层(在pbn片刻好电路后,在电路上沉积热解石墨,然后在pg表面再沉积一层pbn),厚度约mm,电压电流,再加一层石墨。
厚度约3mm左右,电压电流根据客户而定,但要低电压大电流,加热快。
第二种:石墨制作好槽,然后在槽的两面涂上PBN,但石墨作为加热装置,通过交流电加热,会产生磁共振,PBN涂层容易脱落,所以不推荐这种方式制作。
所以这种方式生产不推荐,一般按照第一种方式生产。
因此可以看出基体和绝缘覆盖层都是PBN,发热体是石墨带。
- 为什么要这样生产呢?
石墨或热解石墨表面包覆涂层,石墨在加热领域应用广泛,但石墨在真空和高温条件下会不断析出杂质,从而会污染超纯材料,利用氮化硼无孔、热膨胀系数低的优点在石墨外层包覆PBN,这样可以阻挡石墨析出的杂质,保护超纯材料不被污染。包覆后的石墨经过多次加热,表面氮化硼层不易剥落。
- 优点:
PBN加热垫具有化学稳定性、耐腐蚀等优点,一般最高样品加热温度在1200℃左右,可在E-5mbar氧气气氛下工作。
工作时需要注意避免因较大的快速温升和降而导致PBN覆盖层与石墨层脱离,还要注意保证电极的良好电接触,避免接触处过热,损坏电极。
- 总结性能特点:
-真空中最高温度 1650℃
-空气中最高温度 300 ℃(不推荐)
-高真空、超高压、腐蚀性环境
-升温速率非常快,质量非常低
-非常惰性
-PG 元件封装在 PBN 中,完全不受沉积产物的影响
-样品可直接放置在加热的陶瓷元件板上
-尺寸最大可达 4 英寸方形或圆形
如果如果您需要任何帮助或更大的加热器尺寸,请立即联系我们的技术销售团队。注意:可以定制。
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