MOCVD加热器

PBN-PG 陶瓷加热器结合了三层超高纯度陶瓷，PBN-PG-PBN，以产生先进的微陶瓷加热元件系统。PBN 作为绝缘基板，PG 作为电阻元件。我们的 PBN 加热器（热解氮化硼）和 PG 加热器（热解石墨）均采用高温 CVD 制造。这些高性能元件在陶瓷加热器中表现出出色的热性能，包括高导热性和各向异性。 PBN-PG 加热器具有机械耐用性和抗热冲击性，在大多数情况下不受振动影响，并且可以根据特定要求定制热梯度。PBN-PG 加热器具有超快响应和低热质量，功率输出为 35 瓦/厘米…

什么是PBN加热器？ PBN材料是指通过CVD高温沉积得到的热解氮化硼材料。BN是指立方氮化硼，通过热压获得。 由于获取工艺不同，PBN零件常见厚度小于或等于3mm。 PBN加热器是指在PBN基体上沉积一层薄石墨，通过机械加工（激光雕刻）形成石墨带而形成的石墨加热器。 最后在石墨层上覆盖一层PBN覆盖层（露出电极部分），成为完整的石墨加热器。   加工方式有几种？ 一般有两种方式： 第一种：PBN片制作好槽，然后涂上热解石墨，…