本文主要讲述不同材质坩埚的优点及应用。
1.钨舟:
·耐高温:钨舟具有优异的耐高温性能,可以承受高温下的真空蒸发过程。
·导热性:钨具有良好的导热性,可以提供均匀的加热,有助于获得均匀的薄膜沉积。
稳定性:钨在高温下比较稳定,不易氧化,适合在高温条件下蒸发。
2.氮化硼坩埚:
· 抗粘连性:氮化硼坩埚具有良好的抗粘连性,可以减少材料残留和污染。
· 导电性:氮化硼(BN)坩埚通常具有较低的导电性,这对于某些需要控制电子传导的工艺很有帮助。
· 化学惰性:氮化硼坩埚在许多化学环境中相对惰性,不易受到腐蚀。
3.氧化铝坩埚:
·耐高温/耐腐蚀/强度高:用作炼钢滑动水口,冶炼高纯金属或生长单晶的坩埚,以及各种高温窑炉结构件(炉腔、炉管),理化器皿,航天火花塞,耐热抗氧化涂层,玻璃拉丝坩埚。
4.石英坩埚
石英坩埚可在1700度以下灼烧,但灼烧温度超过1100度石英会变得不透明,因此熔炼温度不宜超过800度。
·不能与HF接触,在高温下,易与苛性碱和碱金属碳酸盐发生作用。
石英坩埚适用于以K2S2O7、KHSO4为熔剂,以Na2S207(先在212度烘干)为熔剂的样品的熔炼。
·石英性脆,易破碎,使用时要注意。
·除HF外,普通稀无机酸可作为清洗溶液。
5.刚玉坩埚
·刚玉坩埚由多孔刚玉构成,坚固且耐熔。
·刚玉坩埚适合用无水Na2C03等弱碱性物质作为熔体样品,不宜用Na202、NaOH等强碱性、酸性物质作为熔体样品(如K2S207等)